公开(公告)号：CN101188906A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200710152132.6

申请日：2007-09-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘尚昱 ,  孙镇石

IPC: H05K3/00 ,  B26D7/01 ,  B26D5/02 ,  B26D7/08 ,  B26D7/26

Abstract: 本发明提供了一种防止粘合薄膜的切断失误的粘合薄膜切断装置、包括该装置的粘合薄膜附着设备、以及使用该装置的粘合薄膜切断及附着方法。粘合薄膜切断装置包括薄膜卷吸附单元(310)及粘合薄膜切断单元(320)。薄膜卷吸附单元(310)吸附由粘合薄膜(20)及异形薄膜(10)两层组成的薄膜卷(30)。粘合薄膜切断单元(320)从粘合薄膜(20)的一侧朝向另一侧切断粘合薄膜(20)。这样，通过从粘合薄膜(20)的一侧朝向另一侧切断粘合薄膜(20)，从而可以将切断粘合薄膜时所产生的冲击最小化，并可防止切断失误。

公开(公告)号：CN1536612A

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN200410001360.X

申请日：2004-01-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩奎熙 ,  刘尚昱 ,  李锡燀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4558

Abstract: 一种用于将沉积气体供应到基板表面上的供气装置，所述供气装置包括：供气环，带有一个或多个沿所述供气环的内部形成的供气通道，还带有多个指向所述供气环中央的气体分布通道；以及多个适配器，带有分别连接到气体分布通道的喷气嘴，所述适配器可拆卸地连接到供气环内部，其中所述喷气嘴具有多种喷射构造。

公开(公告)号：CN101188906B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200710152132.6

申请日：2007-09-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘尚昱 ,  孙镇石

IPC: H05K3/00 ,  B26D7/01 ,  B26D5/02 ,  B26D7/08 ,  B26D7/26

Abstract: 本发明提供了一种防止粘合薄膜的切断失误的粘合薄膜切断装置、包括该装置的粘合薄膜附着设备、以及使用该装置的粘合薄膜切断及附着方法。粘合薄膜切断装置包括薄膜卷吸附单元(310)及粘合薄膜切断单元(320)。薄膜卷吸附单元(310)吸附由粘合薄膜(20)及异形薄膜(10)两层组成的薄膜卷(30)。粘合薄膜切断单元(320)从粘合薄膜(20)的一侧朝向另一侧切断粘合薄膜(20)。这样，通过从粘合薄膜(20)的一侧朝向另一侧切断粘合薄膜(20)，从而可以将切断粘合薄膜时所产生的冲击最小化，并可防止切断失误。

公开(公告)号：CN1263092C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200410001360.X

申请日：2004-01-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩奎熙 ,  刘尚昱 ,  李锡燀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4558

Abstract: 一种用于将沉积气体供应到基板表面上的供气装置，所述供气装置包括：供气环，带有一个或多个沿所述供气环的内部形成的供气通道，还带有多个指向所述供气环中央的气体分布通道；以及多个适配器，带有分别连接到气体分布通道的喷气嘴，所述适配器可拆卸地连接到供气环内部，其中所述喷气嘴具有多种喷射构造。