公开(公告)号：CN114660430A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202111439121.2

申请日：2021-11-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘潭 ,  金在显 ,  李先味 ,  权贤民 ,  李相骏

IPC: G01R31/26

Abstract: 一种用于测试对象的装置可以包括：测试室、第一室、第二室和供气模块。所述测试室容纳用于测试对象的测试板。所述第一室在所述测试室下方并容纳所述测试板的下表面。所述第二室围绕所述第一室，以使所述第一室与环境气体隔离。所述供气模块向所述第二室供应干气体，以提供高于环境压力的正压，从而防止环境气体渗入所述第一室。因此，在低温下测试所述对象期间，所述第二室可以防止潮湿环境气体渗入所述第一室，以防止水在所述测试板的下表面上的冷凝。

公开(公告)号：CN103121012A

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201210450247.4

申请日：2012-11-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李相骏 ,  李永吉

IPC: B07C5/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: B07C5/00 ,  G01R31/2893 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种半导体测试设备，这种半导体测试设备能够解决安装故障问题，由此提高半导体器件的质量并且增加处理量。该半导体测试设备包括上面安装有定制托盘的板、连接到所述板以转移所述板的搬运器、以及在所述板被转移时振动所述板的振动器。