公开(公告)号：CN107065437A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611191846.3

申请日：2016-12-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金洙荣 ,  崔在喜 ,  李政勋 ,  金富得 ,  李浚齐 ,  金年洙

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/3213

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/16 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/322 ,  H01L21/28008 ,  H01L27/11519 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11524 ,  H01L29/788 ,  G03F7/004 ,  H01L21/32139

Abstract: 本发明涉及光刻胶组合物、形成图案的方法和制造半导体器件的方法。光刻胶组合物包括：包含光刻胶聚合物和染料树脂的共混物的光敏树脂、光致产酸剂、和溶剂，其中基于所述光敏树脂的总重量，所述染料树脂的量在约20重量％‑约80重量％的范围内。