公开(公告)号：CN116693081A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310072127.3

申请日：2023-01-13

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 鞠东澈 ,  朴宙熙 ,  金世润 ,  李枝连

IPC: C02F9/00 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44 ,  C02F1/42 ,  C02F103/04

Abstract: 一种超纯水供应装置可以包括：活性炭过滤设备；离子交换树脂设备，连接到活性炭过滤设备；反渗透膜设备，连接到离子交换树脂设备；中空纤维膜设备，连接到反渗透膜设备；第一流体驱动部，在反渗透膜设备和中空纤维膜设备之间；以及控制单元，被配置为控制第一流体驱动部。第一流体驱动部可以包括：第一泵、第二泵和第三泵，与反渗透膜设备并行连接；以及压力传感器，位于第一泵和中空纤维膜设备之间。控制单元可以被配置为基于从压力传感器发送的信号来控制第一泵、第二泵和第三泵中的每一个泵。

公开(公告)号：CN116789298A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310008885.9

申请日：2023-01-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹钟夏 ,  金世润 ,  朴宙熙 ,  李枝连 ,  申哲珉

IPC: C02F9/00 ,  B01D63/02 ,  B01D61/58 ,  E03B1/04 ,  E03B7/07 ,  H01L21/67 ,  C02F103/04 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44

Abstract: 提供了超纯水供应设备、基板处理系统和基板处理方法。超纯水供应设备包括：第一供应装置，生产第一超纯水；第二供应装置，生产第二超纯水；第一备用供应装置，向所述第二供应装置提供所述第一供应装置中的流体的一部分；以及第二备用供应装置，向所述第一供应装置提供所述第二供应装置中的流体的一部分。所述第一供应装置包括第一前侧过滤部件、第一后侧过滤部件和第一连接部件。所述第二供应装置包括第二前侧过滤部件、第二后侧过滤部件和第二连接部件。所述第一备用供应装置和所述第二备用供应装置中的每一者将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此连接。