公开(公告)号：CN116813114A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202211609600.9

申请日：2022-12-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹钟夏 ,  孙侊远 ,  张智恩 ,  崔友泳 ,  朴恩惠

IPC: C02F9/00 ,  B01D61/58 ,  B01D63/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  E03B1/02 ,  E03B7/07 ,  E03B11/10 ,  C02F103/04 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44

Abstract: 一种超纯水供应装置，包括：第一过滤设备、第二过滤设备、第一过滤设备与第二过滤设备之间的第一罐、第三过滤设备、第二过滤设备与第三过滤设备之间的第二罐、第四过滤设备、第三过滤设备与第四过滤设备之间的第三罐、以及连接到第一罐至第三罐中的每一个并被配置为供应惰性气体的气体供应设备。第一罐至第三罐中的每一个包括罐体和耦接到罐体并连接到罐体中的储存空间的呼吸阀。第一过滤设备至第四过滤设备中的每一个包括从活性炭过滤设备、离子交换树脂设备、反渗透膜设备和中空纤维膜设备中选择的至少一种。

公开(公告)号：CN116789298A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310008885.9

申请日：2023-01-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹钟夏 ,  金世润 ,  朴宙熙 ,  李枝连 ,  申哲珉

IPC: C02F9/00 ,  B01D63/02 ,  B01D61/58 ,  E03B1/04 ,  E03B7/07 ,  H01L21/67 ,  C02F103/04 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44

Abstract: 提供了超纯水供应设备、基板处理系统和基板处理方法。超纯水供应设备包括：第一供应装置，生产第一超纯水；第二供应装置，生产第二超纯水；第一备用供应装置，向所述第二供应装置提供所述第一供应装置中的流体的一部分；以及第二备用供应装置，向所述第一供应装置提供所述第二供应装置中的流体的一部分。所述第一供应装置包括第一前侧过滤部件、第一后侧过滤部件和第一连接部件。所述第二供应装置包括第二前侧过滤部件、第二后侧过滤部件和第二连接部件。所述第一备用供应装置和所述第二备用供应装置中的每一者将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此连接。