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公开(公告)号:CN118843316A
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN202311470247.5
申请日:2023-11-07
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本公开涉及一种半导体器件,包括:第一衬底;布线部分,在第一衬底上;第二衬底,在布线部分上;第一栅极堆叠结构,在第二衬底上;第二栅极堆叠结构,在第一栅极堆叠结构上;以及沟道结构,穿过第一栅极堆叠结构和第二栅极堆叠结构,并且连接到第二衬底,其中,第二衬底包括第一材料层和设置在第一材料层上的第二材料层,第一材料层包括包含第一材料的多晶硅,第二材料层包括包含与第一材料不同的第二材料的多晶硅,并且绝缘层设置在布线部分和第二衬底之间。