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公开(公告)号:CN110828419B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN201910387172.1
申请日:2019-05-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/535 , H01L23/538 , H01L21/768
Abstract: 提供了集成电路(IC)器件。IC器件包括衬底,衬底包括有源区。IC器件包括衬底上的位线。IC器件包括连接在有源区与位线之间的直接接触部。IC器件包括衬底上的接触插塞。此外,IC器件包括在接触插塞和直接接触部之间的含硼绝缘图案。
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公开(公告)号:CN110828419A
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201910387172.1
申请日:2019-05-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/535 , H01L23/538 , H01L21/768
Abstract: 提供了集成电路(IC)器件。IC器件包括衬底,衬底包括有源区。IC器件包括衬底上的位线。IC器件包括连接在有源区与位线之间的直接接触部。IC器件包括衬底上的接触插塞。此外,IC器件包括在接触插塞和直接接触部之间的含硼绝缘图案。
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