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公开(公告)号：CN1786801A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510127692.7
申请日：2005-12-07
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 梁成勋 , 库纳尔·萨蒂亚布尚·吉罗特拉 , 金秉浚
IPC: G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/027
CPC classification number: H01L29/458 , H01L27/124 , H01L27/1288 , H01L29/4908
Abstract: 本发明提供了一种TFT阵列面板，包括：基底；具有栅电极的栅极线；形成在栅极线上的栅极绝缘层；具有源电极的数据线和与源电极隔开的漏电极；形成在数据线和漏电极上的钝化层；以及连接至漏电极的像素电极。TFT阵列面板进一步包括位于栅极绝缘层和钝化层的至少一个之下的包括Si的保护层，从而增加可靠性。
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