公开(公告)号：CN101241837A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200810001916.3

申请日：2008-01-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 安康镐 ,  金玧定 ,  姜锡勋 ,  李载荣 ,  崔载兴 ,  黄正性

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  C23C16/44

CPC classification number: F24F11/72 ,  F24F2110/40

Abstract: 本申请涉及排气单元，排气方法，和具有排气单元的半导体制造设备。提供了一种排气单元，该排气单元能够防止由于大气压力变化引起工艺室内的大的压力波动。该排气单元包括主排气管和作为部分旁路的辅排气管。翼片位于主排气管和辅排气管之间的下游开口处，并且控制从辅排气管流至主排气管的旁通气体的量。翼片的第一板和第二板枢轴地联接至在下游开口附近的主排气管，第一板与流过主排气管的气体相碰撞，第二板部分阻塞从辅排气管流回至主排气管的旁通气体。当气体通过主排气管路和辅排气管排出时，翼片被动地控制辅排气管由于大气压力波动而打开的量。