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公开(公告)号：CN101241837A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810001916.3
申请日：2008-01-03
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: F24F11/72 , F24F2110/40
Abstract: 本申请涉及排气单元，排气方法，和具有排气单元的半导体制造设备。提供了一种排气单元，该排气单元能够防止由于大气压力变化引起工艺室内的大的压力波动。该排气单元包括主排气管和作为部分旁路的辅排气管。翼片位于主排气管和辅排气管之间的下游开口处，并且控制从辅排气管流至主排气管的旁通气体的量。翼片的第一板和第二板枢轴地联接至在下游开口附近的主排气管，第一板与流过主排气管的气体相碰撞，第二板部分阻塞从辅排气管流回至主排气管的旁通气体。当气体通过主排气管路和辅排气管排出时，翼片被动地控制辅排气管由于大气压力波动而打开的量。
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公开(公告)号：CN100335850C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200410038625.3
申请日：2004-04-27
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种用于分开收集具有相对较大和细小颗粒体积的灰尘的空气净化器。所述空气净化器包括：主体，其在上部设有第一入口，在所述第一入口之下设有第二入口，并设有用于排出室内空气的出口；吹风单元，其安装在主体内，用于通过所述出口吹动通过第一和第二入口吸入主体的空气；第一灰尘收集单元，其安装在主体内，用于收集通过第一入口吸入主体的灰尘；和第二灰尘收集单元，其安装在主体内，用于收集通过第二入口吸入主体的灰尘。所述空气净化器分开收集具有相对较大和细小颗粒体积的灰尘，从而减小过滤器的污染程度，从而延长过滤器的清洗和更换周期。
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公开(公告)号：CN1629551A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410038625.3
申请日：2004-04-27
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种用于分开收集具有相对较大和细小颗粒体积的灰尘的空气净化器。所述空气净化器包括：主体，其在上部设有第一入口，在所述第一入口之下设有第二入口，并设有用于排出室内空气的出口；吹风单元，其安装在主体内，用于通过所述出口吹动通过第一和第二入口吸入主体的空气；第一灰尘收集单元，其安装在主体内，用于收集通过第一入口吸入主体的灰尘；和第二灰尘收集单元，其安装在主体内，用于收集通过第二入口吸入主体的灰尘。所述空气净化器分开收集具有相对较大和细小颗粒体积的灰尘，从而减小过滤器的污染程度，从而延长过滤器的清洗和更换周期。
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