公开(公告)号：CN102142448B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201010614957.7

申请日：2010-12-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金弘基 ,  姜虎圭 ,  李准泽 ,  崔在希

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/374 ,  H04N5/378

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L23/564 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14638 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14687 ,  H01L2224/48095 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供了一种图像传感器。图像传感器包括：基板，光电转换器件形成在其中；在基板上的互连结构，互连结构包括多个金属间电介质层和安置在多个金属间电介质层中的多个金属互连，互连结构限定相应于光电转换器件对准的槽；吸湿阻挡层，共形地形成在互连结构的顶部上以及在槽中；和光导单元，形成在吸湿阻挡层上并包括填充槽的透光材料，其中吸湿阻挡层在槽的底部和两个侧部上以及在多个金属间电介质层的顶表面上以均匀厚度形成。

公开(公告)号：CN102142448A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201010614957.7

申请日：2010-12-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金弘基 ,  姜虎圭 ,  李准泽 ,  崔在希

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/374 ,  H04N5/378

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L23/564 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14638 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14687 ,  H01L2224/48095 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供了一种图像传感器。图像传感器包括：基板，光电转换器件形成在其中；在基板上的互连结构，互连结构包括多个金属间电介质层和安置在多个金属间电介质层中的多个金属互连，互连结构限定相应于光电转换器件对准的槽；吸湿阻挡层，共形地形成在互连结构的顶部上以及在槽中；和光导单元，形成在吸湿阻挡层上并包括填充槽的透光材料，其中吸湿阻挡层在槽的底部和两个侧部上以及在多个金属间电介质层的顶表面上以均匀厚度形成。