公开(公告)号：CN100529176C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200510135658.4

申请日：2005-12-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑敬锡 ,  尤沙科夫·安德瑞 ,  朴宣美 ,  郑和俊 ,  金应秀

IPC: C23C16/513

Abstract: 本发明涉及一种等离子增强化学气相沉积装置，包含：具有反应室和接近口的室主体；布置在反应室中而用于喷射沉积气体的气体喷射部；通过第一铰链结合于室主体的室导板，该室导板旋动于打开接近口的打开位置与关闭接近口的关闭位置之间。因此，可以有效地分解气体喷射部。

公开(公告)号：CN1924087A

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200510135658.4

申请日：2005-12-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑敬锡 ,  尤沙科夫·安德瑞 ,  朴宣美 ,  郑和俊 ,  金应秀

IPC: C23C16/513

Abstract: 本发明涉及一种等离子增强化学气相沉积装置，包含：具有反应室和接近口的室主体；布置在反应室中而用于喷射沉积气体的气体喷射部；通过第一铰链结合于室主体的室导板，该室导板旋动于打开接近口的打开位置与关闭接近口的关闭位置之间。因此，可以有效地分解气体喷射部。