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公开(公告)号：CN116110768A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202210939273.7
申请日：2022-08-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , H01L21/66 , G01N23/2251
Abstract: 提供了扫描电子显微镜、检查晶片的方法及半导体器件制造方法。扫描电子显微镜包括：电子枪；偏转器；物镜；第一检测器和第二检测器，均被配置为检测基于所述输入电子束照射在所述晶片上而从所述晶片发射的发射电子；第一能量滤波器，被配置为阻挡基于输入电子束而从晶片发射的发射电子当中的能量小于第一能量的电子被所述第一检测器检测到；以及第二能量滤波器，被配置为阻挡所述发射电子当中的能量小于第二能量的电子被所述第二检测器检测到。
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