公开(公告)号：CN112138905B

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202010596996.2

申请日：2020-06-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴炅桓 ,  姜景元 ,  姜现准 ,  李柱奉 ,  张星勋 ,  许硕 ,  黄铉雄

IPC: B05B13/04 ,  B05B13/02 ,  B05B12/00 ,  B05B12/12 ,  B05B15/68 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于半导体装置的制造设备，所述制造设备包括：旋转卡盘，其被配置为固定并旋转晶圆；喷嘴，其被配置为朝向晶圆喷洒化学试剂；横向位移传感器，其被配置为在旋转卡盘正被旋转的同时测量到的晶圆的侧表面位移变化；以及控制器，其被配置为在旋转卡盘正被旋转的同时通过使用位移变化来控制喷嘴的位置。

公开(公告)号：CN112138905A

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN202010596996.2

申请日：2020-06-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴炅桓 ,  姜景元 ,  姜现准 ,  李柱奉 ,  张星勋 ,  许硕 ,  黄铉雄

IPC: B05B13/04 ,  B05B13/02 ,  B05B12/00 ,  B05B12/12 ,  B05B15/68 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于半导体装置的制造设备，所述制造设备包括：旋转卡盘，其被配置为固定并旋转晶圆；喷嘴，其被配置为朝向晶圆喷洒化学试剂；横向位移传感器，其被配置为在旋转卡盘正被旋转的同时测量到的晶圆的侧表面位移变化；以及控制器，其被配置为在旋转卡盘正被旋转的同时通过使用位移变化来控制喷嘴的位置。