公开(公告)号：CN111158222A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201910846787.6

申请日：2019-09-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴钟根 ,  金暻鲁 ,  姜万圭 ,  金炳局

IPC: G03F7/30 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了一种化学物质供应结构和具有其的显影设备。所述化学物质供应结构包括：条形主体，所述条形主体具有多个化学物质贮存器，所述多个化学物质贮存器被配置为分别储存多种化学物质；条形喷嘴，所述条形喷嘴从所述主体的底表面突出，并且被配置为将由所述多种化学物质的混合所形成的喷射化学物质喷射到待处理的衬底上；以及疏水单元，所述疏水单元布置在所述主体的所述底表面上并布置在所述喷嘴的侧表面上，从而通过控制混合有所述喷射化学物质的混合溶液相对于所述底表面和所述侧表面的接触角来防止所述混合溶液粘附到所述底表面和所述侧表面。

公开(公告)号：CN111158222B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN201910846787.6

申请日：2019-09-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴钟根 ,  金暻鲁 ,  姜万圭 ,  金炳局

IPC: G03F7/30 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了一种化学物质供应结构和具有其的显影设备。所述化学物质供应结构包括：条形主体，所述条形主体具有多个化学物质贮存器，所述多个化学物质贮存器被配置为分别储存多种化学物质；条形喷嘴，所述条形喷嘴从所述主体的底表面突出，并且被配置为将由所述多种化学物质的混合所形成的喷射化学物质喷射到待处理的衬底上；以及疏水单元，所述疏水单元布置在所述主体的所述底表面上并布置在所述喷嘴的侧表面上，从而通过控制混合有所述喷射化学物质的混合溶液相对于所述底表面和所述侧表面的接触角来防止所述混合溶液粘附到所述底表面和所述侧表面。