溅射装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106939412B

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN201710006470.2

    申请日:2017-01-05

    Inventor: 李栋熙 申相原

    Abstract: 本发明涉及一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置可包括:第一电极和第二电极,彼此面对地配置在腔室内;多个靶,在第二电极的第一面上被配置为沿第一方向彼此隔开;和磁场生成部,位于第二电极的朝向与第一面相反的一侧的第二面上,并包括被配置为与多个靶中的每一个对应的多个磁铁部件,对多个磁铁部件中的每一个来说,磁铁部件在与第一方向交叉的第二方向上的边缘区域的磁场强度比所述磁铁部件的中心区域小。

    沉积装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107916403A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201710907176.9

    申请日:2017-09-29

    CPC classification number: C23C14/3464 C23C14/54

    Abstract: 本发明涉及一种沉积装置,其能够使材料均匀地沉积至基板上。根据本发明的实施例的沉积装置具备:多个阴极,位于腔室内;托盘,位于所述阴极的一侧,用于固定基板;阳极,与所述阴极相邻而布置,以预定角度进行旋转的同时向所述基板侧供应氧气。

    溅射装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106939412A

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201710006470.2

    申请日:2017-01-05

    Inventor: 李栋熙 申相原

    Abstract: 本发明涉及一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置可包括:第一电极和第二电极,彼此面对地配置在腔室内;多个靶,在第二电极的第一面上被配置为沿第一方向彼此隔开;和磁场生成部,位于第二电极的朝向与第一面相反的一侧的第二面上,并包括被配置为与多个靶中的每一个对应的多个磁铁部件,对多个磁铁部件中的每一个来说,磁铁部件在与第一方向交叉的第二方向上的边缘区域的磁场强度比所述磁铁部件的中心区域小。

    沉积装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107916403B

    公开(公告)日:2022-05-03

    申请号:CN201710907176.9

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 本发明涉及一种沉积装置,其能够使材料均匀地沉积至基板上。根据本发明的实施例的沉积装置具备:多个阴极,位于腔室内;托盘,位于所述阴极的一侧,用于固定基板;阳极,与所述阴极相邻而布置,以预定角度进行旋转的同时向所述基板侧供应氧气。

    显示设备
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109920819A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201811517754.9

    申请日:2018-12-12

    Abstract: 显示设备包括基板,所述基板包括显示区域和显示区域外部的周围区域。电路单元设置在显示区域中并且包括半导体层。绝缘层在半导体层上。导电层通过绝缘层中的接触孔与半导体层连接。导电层包括下层,所述下层包括金属氮化物,所述金属氮化物包括第一金属。显示元件设置在电路单元上,并且包括与导电层电连接的像素电极。连接层设置在导电层之下。连接层与接触孔对应,并且包括第二金属。

    输入感测单元、显示装置和制造输入感测单元的方法

    公开(公告)号:CN109214260A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810224498.8

    申请日:2018-03-19

    Abstract: 提供了一种输入感测单元、一种显示装置和一种制造输入感测单元的方法。所述输入感测单元包括第一金属图案层,该第一金属图案层包括在第一方向上延伸的多条第一导线。第一绝缘层设置在第一金属图案层上。第二金属图案层位于第一绝缘层上方,并且包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线。第二绝缘层设置在第二金属图案层上。感测电极设置在第二绝缘层上,并且通过限定在第二绝缘层中的接触孔电连接到第二金属图案层。抗反射图案层设置在第一金属图案层和第二金属图案层上,以沿与抗反射图案层的上表面正交的方向与第一金属图案层和第二金属图案层叠置。

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