Invention Grant
- Patent Title: 溅射装置
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Application No.: CN201710006470.2Application Date: 2017-01-05
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Publication No.: CN106939412BPublication Date: 2021-01-22
- Inventor: 李栋熙 , 申相原
- Applicant: 三星显示有限公司
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 三星显示有限公司
- Current Assignee: 三星显示有限公司
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京德琦知识产权代理有限公司
- Agent 康泉; 宋志强
- Priority: 10-2016-0001028 2016.01.05 KR
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35 ; C23C14/56
Abstract:
本发明涉及一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置可包括：第一电极和第二电极，彼此面对地配置在腔室内；多个靶，在第二电极的第一面上被配置为沿第一方向彼此隔开；和磁场生成部，位于第二电极的朝向与第一面相反的一侧的第二面上，并包括被配置为与多个靶中的每一个对应的多个磁铁部件，对多个磁铁部件中的每一个来说，磁铁部件在与第一方向交叉的第二方向上的边缘区域的磁场强度比所述磁铁部件的中心区域小。
Public/Granted literature
- CN106939412A 溅射装置 Public/Granted day:2017-07-11
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IPC分类:
