-
公开(公告)号：CN111316397B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201880053183.X
申请日：2018-07-16
申请人： 零件喷涂公司
摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。
-
公开(公告)号：CN105026609B
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201480011904.2
申请日：2014-02-25
申请人： 零件喷涂公司
CPC分类号： H01J37/3455 , H01J37/345 , H01J37/347 , H01J37/3476 , H01J37/3479
摘要： 一种用于旋转靶材阴极的磁控管组件包括刚性支撑结构；磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述刚性支撑结构；和至少一个致动机构，所述至少一个致动机构耦接到所述刚性支撑结构并被配置以改变所述磁棒结构与可旋转靶筒的表面的距离。所述磁控管组件也包括位置指示机构，所述位置指示机构可操作以测量所述磁棒结构相对于所述可旋转靶筒的所述表面的位置。通信设备被配置以从所述磁控管组件的外部接收命令信号并将信息信号传输到所述磁控管组件的外部。
-
公开(公告)号：CN113621923B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110685559.2
申请日：2018-07-16
申请人： 零件喷涂公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。
-
公开(公告)号：CN113621923A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110685559.2
申请日：2018-07-16
申请人： 零件喷涂公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。
-
公开(公告)号：CN105463394A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510922598.4
申请日：2012-01-06
申请人： 零件喷涂公司
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/354 , H01J37/3405 , H01J37/342 , H01J37/345 , H01J37/3452 , H01J37/347 , H01J37/3482 , C23C14/3471
摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。
-
公开(公告)号：CN103354844B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201280004692.6
申请日：2012-01-06
申请人： 零件喷涂公司
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/354 , H01J37/3405 , H01J37/342 , H01J37/345 , H01J37/3452 , H01J37/347 , H01J37/3482
摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。
-
公开(公告)号：CN105008585A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380068267.8
申请日：2013-12-23
申请人： 零件喷涂公司
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/513
CPC分类号： H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3438 , H01J37/3444 , H01J37/345
摘要： 一个实施方案是关于一种等离子体源，所述等离子体源包括其中形成空腔的主体和设置于所述空腔内的至少两个自含式磁控管组件。所述磁控管组件彼此并且与所述主体互相电绝缘。在此类实施方案的一种实现方式中，所述自含式磁控管组件包括闭合漂移磁控管组件。公开了其它实施方案。
-
公开(公告)号：CN103354844A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201280004692.6
申请日：2012-01-06
申请人： 零件喷涂公司
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/354 , H01J37/3405 , H01J37/342 , H01J37/345 , H01J37/3452 , H01J37/347 , H01J37/3482
摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。
-
公开(公告)号：CN106795621A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580035253.5
申请日：2015-03-19
申请人： 零件喷涂公司
摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁控管组件包括：细长的支撑结构；磁棒结构，其活动地定位在支撑结构下方；以及多个驱动模块，其联接到支撑结构。所述驱动模块中的每一个均包括操作性地联接到磁棒结构的机动化致动机构。控制器和电池模块联接到支撑结构，并与驱动模块操作性连通。所述控制器和电池模块包括电子控制器和至少一个可再充电电池。所述电池被构造成向每个机动化致动机构和电子控制器供能。一个或多个动力生成模块联接到支撑结构并与电池电气连通，使得从动力生成模块输出的电能使电池再充电。
-
公开(公告)号：CN105026609A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201480011904.2
申请日：2014-02-25
申请人： 零件喷涂公司
CPC分类号： H01J37/3455 , H01J37/345 , H01J37/347 , H01J37/3476 , H01J37/3479
摘要： 一种用于旋转靶材阴极的磁控管组件包括刚性支撑结构；磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述刚性支撑结构；和至少一个致动机构，所述至少一个致动机构耦接到所述刚性支撑结构并被配置以改变所述磁棒结构与可旋转靶筒的表面的距离。所述磁控管组件也包括位置指示机构，所述位置指示机构可操作以测量所述磁棒结构相对于所述可旋转靶筒的所述表面的位置。通信设备被配置以从所述磁控管组件的外部接收命令信号并将信息信号传输到所述磁控管组件的外部。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
16 条记录 (耗时 0.042 秒)
