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发明公开
膜厚测量系统及方法有权转让

公开(公告)号：CN107036539A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710447669.9

申请日：2017-06-14

申请人： 苏州翌流明光电科技有限公司

发明人： 陈鲁

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0625

摘要： 本发明公开了一种测量系统，其包括：透镜组件，其被配置为接收来自被测样品的反射光，并将反射光至少分为第一反射光和第二反射光；成像单元，其被配置为接收第一反射光，以获取被测样品表面的成像数据，成像数据包括被测孔在被测样品的至少一个检测区域中的分布信息；膜厚测量单元，其被配置为接收第二反射光，以获取被测孔的孔底膜厚的数据；以及处理单元，其与成像单元、膜厚测量单元通信连接，并且被配置为基于分布信息来确定被测孔的检测路径，并基于孔的检测路径来使得膜厚测量单元获得每个被测孔的孔底膜厚的数据，进而实现对至少一个检测区域中的被测孔的测量。