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公开(公告)号：CN115185328B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202210878159.8
申请日：2022-07-25
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： G05F1/56
摘要： 本申请公开了一种调压电路、电信号检测电路与电子设备，调压电路用于对第一接口的电压进行调节，调压电路包括电阻支路、运算支路与调节支路。电阻支路与第一电源连接，电阻支路被配置为电阻值可调的支路，并基于第一电源的电压输出可调节的电压。运算支路分别与第一基准电压、第一接口及调节支路连接，运算支路被配置为基于第一基准电压与第一接口的电压进行运算，并输出第一信号至调节支路。调节支路与电阻支路连接，调节支路基于第一信号调节电阻支路的电阻值，以调节第一接口的电压，以使第一基准电压与第一接口的电压满足预设对应关系。通过上述方式，能够实现电压的自动校准，且能够在不同的产品和电路中通用，实用性较强。
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公开(公告)号：CN117559780A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311582541.5
申请日：2023-11-23
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种推挽式隔离逆变驱动电路，属于射频技术领域，解决了线性RF脉冲功率放大器的动态非线性等问题。在该电路中，第一、第二方波直流源分别输入变压器的初级线圈的异名端、同名端；变压器第一次级线圈的异名端连接第一嵌位防逆流模块的输入端，第一嵌位防逆流模块的输出端连接第一开关管的栅极；第一次级线圈的同名端、第一嵌位防逆流模块的嵌位端与第一开关管的源极接地；第二次级线圈的同名端连接第二嵌位防逆流模块的输入端，第二嵌位防逆流模块的输出端连接第二开关管的栅极，第二开关管的漏极连接电源；第二次级线圈的异名端、第二嵌位防逆流模块的嵌位端、第二开关管的源极与第一开关管的漏极相连并作为电路的信号输出端。
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公开(公告)号：CN117477512A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311361806.9
申请日：2023-10-19
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种脉冲电源消弧方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：输出脉冲电源信号至外接设备，并开始输出计时；当输出计时时间达到预设输出时间时，停止输出脉冲电源信号至外接设备，并开始关断计时；当关断计时时间达到预设关断时间时，返回至输出脉冲电源信号至外接设备的步骤。因此，本发明可输出定时通断的脉冲电源信号至外接设备，从而避免靶材电荷的不断累积，进而避免产生硬弧。
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公开(公告)号：CN117411459A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311730278.X
申请日：2023-12-15
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法，所述有源阻抗匹配网络包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D1、第二二极管D2及控制电路；控制电路的输出端连接开关管Q的栅极，控制电路用于控制所述有源阻抗匹配网络的等效输入阻抗等于所述特征阻抗。本发明通过提供的控制策略调整开关管的占空比，从而调节电容输出电压及流入动态负载的电流，使得等效输入阻抗与特征阻抗相等，能够在腔体负载发生变化时实时进行阻抗匹配，本发明相比起无源阻抗匹配网络，实现了调节速度快、调节范围大、平滑性更好的效果。
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公开(公告)号：CN117276162A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311557907.3
申请日：2023-11-22
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种等离子体处理设备，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有等离子体处理设备在晶圆完成等离子体反应后无法立刻取出晶圆且不能自动码放晶圆的问题。本发明包括设备本体和传送退料机构；设备本体包括进料口和出料口；传送退料机构包括承载开合机构、料盒限位机构和收料盒；承载开合机构在进料口和出料口之间进行往复运动，承载开合机构包括两个连接件，两个连接件的一端活动连接，另一端与收料盒接触后张开，远离收料盒后关合；料盒限位机构中的限位凸块与收料盒限位连接。本发明通过承载开合机构的张开操作将晶圆推入收料盒内，完成对晶圆的取出和码放。
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公开(公告)号：CN116846234A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202311111870.1
申请日：2023-08-31
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本申请实施例公开了一种射频电源供能的二级变换器及其控制方法，射频电源供能的二级变换器包括射频电源、第一电感、整流模块、降压模块和脉冲负载；整流模块包括开关单元和第一电容；开关单元包括四个开关管与四个二极管；第一开关管的第一端与第一二极管的阴极连接，第一开关管的第二端与第一二极管的阳极、第二开关管的第一端、第二二极管的阴极、第三开关管的第二端和第三二极管的阳极连接，第三开关管的第一端与第三二极管的阴极、第四开关管的第一端、第四二极管的阴极连接；第二开关管的第二端接地。本申请利用开关单元中的四个开关管及时对二级变换器的输出电压进行调节，从而稳定二级变换器的电压输出。
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公开(公告)号：CN116832739A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310966528.3
申请日：2023-08-01
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： B01J19/08 , B01J19/00 , B01F33/40 , B01F23/237
摘要： 本发明公开一种处理液体的等离子体装置及其使用方法，涉及离子体处理设备技术领域，本发明的处理液体的等离子体装置包括反应器、微气泡发生单元以及压气组件，反应器设有供液体流动的反应腔；微气泡发生单元设于反应器的下方，且连通反应腔，微气泡发生装置用于向反应腔内提供气泡；压气组件包括压气盘和驱动连接压气盘的驱动机构，压气盘活动设于反应腔内，驱动机构用于驱动压气盘沿反应器的高度方向活动，以控制气泡的流动速度。本发明能够控制气泡的上移速度，使气泡均匀分布在液体内，保障后续对液体等离子放电处理的处理效果。
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公开(公告)号：CN116317548B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310577747.2
申请日：2023-05-22
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H02M3/155
摘要： 本发明公开了一种电压变换电路及电压变换器，属于变换器术领域。本发明通过在电压变换电路中设置第一升压模块和第二升压模块；电源模块将产生的电源电压传输至第一升压模块和第二升压模块；第一升压模块在接收到电源模块输出的电源电压时，对电源电压进行一次升压，获得第一升压电压，并将第一升压电压传输至第二升压模块；第二升压模块对第一升压电压进行二次升压，获得第二升压电压，并将第二升压电压传输至负载。由于本发明采用第一升压模块对电源电压进行一次升压，获得第一升压电压，再通过第二升压模块对第一升压电压进行二次升压，获得第二升压电压，进而可通过两次升压来降低占空比，减少输出二极管的反向恢复损耗和开关损耗。
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公开(公告)号：CN116169882B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310460751.0
申请日：2023-04-26
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明提供的一种高增益升压变换器，包括第一开关管、第二开关管、第一开关电感单元、第二开关电感单元、第一电容单元、第二电容单元、第四二极管、第八二极管和输出单元；第一开关电感单元的第一端与电源的正极连接，第一开关电感单元的第二端与第一开关管的第一端、第四二极管的阳极、第二电容单元的第一端连接，第四二极管的阴极与第一电容单元的第一端、第二开关电感单元的第一端连接，第二开关电感单元的第二端与第二开关管的第一端、输出单元连接，第一电容单元的第二端、第一开关管的第二端和第八二极管的阴极与电源的负极连接。本实施例中的开关器件在较大的占空比下的应力低，可利用占空比提高电压增益。
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公开(公告)号：CN116155102B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310426980.0
申请日：2023-04-20
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种高增益变换器，第一升压模块的第一端、第二升压模块的第一端与电源的正极连接；第一升压模块的第二端与第三升压模块的第一端、第一开关管的第一端连接，第二升压模块的第二端与第三升压模块的第二端、第二开关管的第一端连接；第一开关管的第二端、第二开关管的第二端与电源的负极连接；第三升压模块的第三端与输出模块的第一端连接，输出模块的第二端与电源的负极连接，负载并接于输出模块的两端；电源用于对第一升压模块和第二升压模块充电，第一升压模块和第二升压模块用于对第三升压模块充电，第三升压模块用于对输出模块和负载充电，高增益变换器能实现高增益比。
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