一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法
Abstract:
本申请公开了一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法,所述有源阻抗匹配网络包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D1、第二二极管D2及控制电路;控制电路的输出端连接开关管Q的栅极,控制电路用于控制所述有源阻抗匹配网络的等效输入阻抗等于所述特征阻抗。本发明通过提供的控制策略调整开关管的占空比,从而调节电容输出电压及流入动态负载的电流,使得等效输入阻抗与特征阻抗相等,能够在腔体负载发生变化时实时进行阻抗匹配,本发明相比起无源阻抗匹配网络,实现了调节速度快、调节范围大、平滑性更好的效果。
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