Invention Publication
- Patent Title: 一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法
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Application No.: CN202311730278.XApplication Date: 2023-12-15
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Publication No.: CN117411459APublication Date: 2024-01-16
- Inventor: 姚志毅 , 林桂浩 , 林伟群 , 乐卫平
- Applicant: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
- Assignee: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
- Current Assignee: 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- Current Assignee Address: 518102 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
- Agency: 北京惟盛达知识产权代理有限公司
- Agent 陈钊
- Main IPC: H03H11/28
- IPC: H03H11/28 ; H02M3/156

Abstract:
本申请公开了一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法,所述有源阻抗匹配网络包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D1、第二二极管D2及控制电路;控制电路的输出端连接开关管Q的栅极,控制电路用于控制所述有源阻抗匹配网络的等效输入阻抗等于所述特征阻抗。本发明通过提供的控制策略调整开关管的占空比,从而调节电容输出电压及流入动态负载的电流,使得等效输入阻抗与特征阻抗相等,能够在腔体负载发生变化时实时进行阻抗匹配,本发明相比起无源阻抗匹配网络,实现了调节速度快、调节范围大、平滑性更好的效果。
Public/Granted literature
- CN117411459B 一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法 Public/Granted day:2024-04-26
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