-
公开(公告)号：CN107511841A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710961278.9
申请日：2017-10-17
申请人： 海鑫光电系统科技(上海)有限公司
发明人： 马俊麒
CPC分类号： B25J15/00 , B25J9/0009 , B25J9/10
摘要： 本发明为一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，包括有一基架及一对可相对摆动地连接于该基架的夹臂，各夹臂分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆；本发明的机器人夹爪通过可相对摆动的夹臂调整两夹臂之间的距离，并使不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置于距离相对应的挂杆上，以实现单一夹爪能够挂置尺寸不同的晶圆承载篮的效果，省去了更换机器人夹爪的麻烦。
-
公开(公告)号：CN108619910B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201810500375.2
申请日：2018-05-23
申请人： 海鑫光电系统科技(上海)有限公司
发明人： 张国强
摘要： 本发明公开了一种多功能高效膜过滤装置，包括箱体，所述箱体内设有第一空腔，所述第一空腔右端相通设有第一滑动槽，所述第一滑动槽右端相通设有进液腔，所述进液腔右端相通设有第二滑动槽，所述第一滑动槽下方设有与所述第一空腔相通的第二空腔，所述第二空腔下端相通设有第三滑动槽，所述第三滑动槽右端相通设有第四滑动槽，所述第四滑动槽上方相通设有第五滑动槽，所述第五滑动槽右方设有环形腔，所述环形腔左端内壁上固定连接有固定块所述环形腔右方设有第三空腔，所述环形腔右端相通设有贯穿所述第三空腔的第一排液腔；本发明的装置结构简单，操作方便，能够实现多个密封件同步工作，有利于该装置进行过滤工作。
-
公开(公告)号：CN210511060U
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201921196991.X
申请日：2019-07-26
申请人： 海鑫光电系统科技(上海)有限公司
发明人： 顾静远
摘要： 本实用新型公开了一种刻蚀液中央供液装置，属于化工生产技术领域。包括机箱、液剂罐、主机与供液泵；机箱正面嵌接有操作板，操作板包括键位端口板与显示屏，键位端口板由按键电路构成，键位端口板嵌入设置于操作板内侧右端，显示屏嵌接于操作板内侧左端，机箱底端四边角均焊接有支脚，机箱左侧开槽设置有配液槽，机箱正面下端铰接有机盘；液剂罐嵌入设置于机箱内侧中部，通过设置液剂罐及分设有的注液管、配液管来保存刻蚀液剂，并利用其中阀口的开、闭合及供液泵泵体运行来自动配给液体，其中机箱与隔板的设置可有效隔离供液区域与电控区域，保证电设备安全，解决了现有供液管路存在安全隐患的问题。
-
公开(公告)号：CN207480616U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721336574.1
申请日：2017-10-17
申请人： 海鑫光电系统科技(上海)有限公司
发明人： 马俊麒
摘要： 本实用新型为一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，包括有一基架及一对可相对摆动地连接于该基架的夹臂，各夹臂分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆；本实用新型的机器人夹爪通过可相对摆动的夹臂调整两夹臂之间的距离，并使不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置于距离相对应的挂杆上，以实现单一夹爪能够挂置尺寸不同的晶圆承载篮的效果，省去了更换机器人夹爪的麻烦。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN210905155U
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201921196740.1
申请日：2019-07-26
申请人： 海鑫光电系统科技(上海)有限公司
发明人： 顾静远
摘要： 本实用新型提供了一种新型废液回收柜，本实用新型涉及废液回收柜技术领域，新型废液回收柜，包括收集柜、外框、滤筒以及转轴，滤筒垂直嵌入于收集柜内部，且外框环绕固定于收集柜上端后侧以及左右两侧，转轴水平贯穿于外框内部后侧；滤筒右面开有两个垂直等距排布的圆槽，且两个圆槽内分别嵌入有筛板和活性炭网，活性炭网平行于筛板下方，且筛板和活性炭网右端均焊接有拉环，滤筒前面下侧开有与其内部相通的插口，且插口内嵌入有平行于活性炭网下方的抽屉，滤筒上端插接有与其内部相通的进液斗；本实用新型的有益效果在于：提高清洗过滤组件的便捷性，实现快速将渗漏的废液进行处理。
-
-
-
-
搜索结果
5 条记录 (耗时 0.046 秒)
