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公开(公告)号：CN116705584A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310195693.3
申请日：2023-03-03
申请人： 株式会社尤金科技
摘要： 本发明提供一种通过多个电极产生等离子体以对衬底执行处理工艺的批次型衬底处理装置。批次型衬底处理装置包括反应管、多个电极及电极保护部。所述多个电极包括：第一电力供应电极与第二电力供应电极，彼此间隔开；以及第一接地电极及第二接地电极，在第一电力供应电极与第二电力供应电极之间被设置成分别与第一电力供应电极及第二电力供应电极对应。电极保护部包括：多个第一电极保护管，分别具有其中插置有第一电力供应电极及第二电力供应电极的内空间；多个第二电极保护管，分别具有其中插置有第一接地电极及第二接地电极的内空间；以及多个桥接部，被配置成分别将彼此面对的第一电极保护管的上部端部与第二电极保护管的上部端部连接到彼此。
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公开(公告)号：CN118974906A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380031336.1
申请日：2023-03-28
申请人： 株式会社尤金科技
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , B25J19/06 , B25J19/02 , B25J15/00
摘要： 本发明涉及一种检测多个末端执行器异常的基板传送装置以及基板传送装置异常判断方法。基板传送装置包括：多个末端执行器在第一方向上延伸并在与第一方向交叉的第二方向上多阶段排列以分别支撑基板；间隔调节单元，其被配置为调整多个末端执行器之间的间隔；以及异常检测单元，其被配置为检测多个末端执行器中每个的异常，其中多个末端执行器可包括：位置固定的参考末端执行器；以及可变末端执行器，其相对于参考末端执行器在与参考末端执行器的距离上被调整。
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公开(公告)号：CN110444500B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201910260988.8
申请日：2019-04-02
申请人： 株式会社尤金科技
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本公开提供一种衬底处理系统，包含：第一处理管道和第二处理管道，在第一轴的方向上彼此间隔开以提供彼此独立的处理空间；衬底舟，所述衬底舟上多重地堆叠多个衬底，且所述衬底舟提供到第一处理管道和第二处理管道的处理空间中的每一个；以及第一舟升降单元和第二舟升降单元，分别提供到第一处理管道和第二处理管道以提升衬底舟，其中第一舟升降单元和第二舟升降单元中的每一个包含安置在第一处理管道与第二处理管道之间的空间中的升降轴构件。本公开的衬底处理系统能够在减小其占地面积的同时通过包含多个处理管道来增加衬底处理量。
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公开(公告)号：CN110379730B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201910226229.X
申请日：2019-03-25
申请人： 株式会社尤金科技
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本公开涉及一种衬底处理设备和衬底处理方法，且更确切地说涉及一种配置成在衬底上沉积均一薄膜的衬底处理设备和衬底处理方法。根据示范性实施例的衬底处理设备包含：反应管，具有形成于其中的内部空间；衬底舟，配置成装载多个载台中的多个衬底，且定位于内部空间中以分隔成在其中分别处理多个衬底的多个处理空间；工艺气体供应部件，配置成将工艺气体供应到多个处理空间；以及稀释气体供应部件，配置成供应用于稀释多个处理空间内的工艺气体的稀释气体。本公开可提供一种可使得分别沉积于衬底舟上所装载的多个衬底上的薄膜的厚度均一的衬底处理设备和衬底处理方法。
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公开(公告)号：CN110444500A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910260988.8
申请日：2019-04-02
申请人： 株式会社尤金科技
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本公开提供一种衬底处理系统，包含：第一处理管道和第二处理管道，在第一轴的方向上彼此间隔开以提供彼此独立的处理空间；衬底舟，所述衬底舟上多重地堆叠多个衬底，且所述衬底舟提供到第一处理管道和第二处理管道的处理空间中的每一个；以及第一舟升降单元和第二舟升降单元，分别提供到第一处理管道和第二处理管道以提升衬底舟，其中第一舟升降单元和第二舟升降单元中的每一个包含安置在第一处理管道与第二处理管道之间的空间中的升降轴构件。本公开的衬底处理系统能够在减小其占地面积的同时通过包含多个处理管道来增加衬底处理量。
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