一种可集成的无定型硅波导结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN107238891A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710372174.4

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    IPC分类号: G02B6/12 G02B6/132

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种可集成的无定型硅波导结构及其制作方法,该结构包括:单晶半导体、第一二氧化硅层、无定型硅层和第二二氧化硅层;第一二氧化硅层通过沉积形成于单晶半导体上,无定型硅层通过沉积形成于第一二氧化硅层上。本发明提供的无定型硅波导结构可以通过控制第一二氧化硅层和无定型硅层厚度,调节无定型硅波导起到波导或是波导上包层作用,并通过光刻工艺或者自校准工艺,严格校准不同无定型硅波导或者无定型硅波导与其他波导之间的水平方向耦合,以降低工艺难度。

    可集成光电器件及其制作方法、多个光电器件的集成方法

    公开(公告)号:CN107037534A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201710369969.X

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种可集成光电器件及其制作方法、多个光电器件的集成方法,该器件包括:多层结构的基底,基底从底至顶底依次包括衬底以及在衬底上依次逐层生长出的第一N型接触层、N型包层、第二N型接触层、有源区、P型接触层和无定型硅波导层;硅波导区,硅波导区通过将所述无定型硅波导层第一次刻蚀为条状结构形成,硅波导区的两侧均暴露出条状的P型接触层。本发明通过III‑V的直接生长,在III‑V或着Si衬底上一次性直接生长各种III‑V光电器件层状结构,并使用无定型硅和SiO2为光波导,连接各个器件,避免使用键合技术和昂贵的SOI衬底,制作工艺简单,有利于大规模低成本生产。

    一种可集成的无定型硅波导结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN107238891B

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201710372174.4

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    IPC分类号: G02B6/12 G02B6/132

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种可集成的无定型硅波导结构及其制作方法,该结构包括:单晶半导体、第一二氧化硅层、无定型硅层和第二二氧化硅层;第一二氧化硅层通过沉积形成于单晶半导体上,无定型硅层通过沉积形成于第一二氧化硅层上。本发明提供的无定型硅波导结构可以通过控制第一二氧化硅层和无定型硅层厚度,调节无定型硅波导起到波导或是波导上包层作用,并通过光刻工艺或者自校准工艺,严格校准不同无定型硅波导或者无定型硅波导与其他波导之间的水平方向耦合,以降低工艺难度。

    一种制作集成多种光电器件的基材结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN107293557B

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201710369550.4

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    IPC分类号: H01L27/142

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种制作集成多种光电器件的基材结构及其制作方法,该基材结构包括:衬底;通过外延生长于衬底上的第一接触层;通过外延生长于第一接触层上的包层;通过外延生长于包层上的第二接触层;通过外延生长于第二接触层上的有源区;通过外延生长于有源区上的第三接触层;通过沉积形成于第三接触层上的无定型硅波导;第一接触层、第二接触层以及包层的导电类型均相同,第三接触层与第一接触层的导电类型相反。本发明提供的制作集成多种光电器件的基材结构能够同时制成集成的多种光电器件,避免使用键合技术和昂贵的SOI衬底实现光电互联,制作工艺简单,有利于大规模低成本生产。

    可集成光电器件及其制作方法、多个光电器件的集成方法

    公开(公告)号:CN107037534B

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201710369969.X

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种可集成光电器件及其制作方法、多个光电器件的集成方法,该器件包括:多层结构的基底,基底从底至顶底依次包括衬底以及在衬底上依次逐层生长出的第一N型接触层、N型包层、第二N型接触层、有源区、P型接触层和无定型硅波导层;硅波导区,硅波导区通过将所述无定型硅波导层第一次刻蚀为条状结构形成,硅波导区的两侧均暴露出条状的P型接触层。本发明通过III‑V的直接生长,在III‑V或着Si衬底上一次性直接生长各种III‑V光电器件层状结构,并使用无定型硅和SiO2为光波导,连接各个器件,避免使用键合技术和昂贵的SOI衬底,制作工艺简单,有利于大规模低成本生产。

    一种制作集成多种光电器件的基材结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN107293557A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201710369550.4

    申请日:2017-05-23

    发明人: 耿煜 张运生

    IPC分类号: H01L27/142

    CPC分类号: Y02E10/50 H01L27/142

    摘要: 本发明适用于光电领域,提供了一种制作集成多种光电器件的基材结构及其制作方法,该基材结构包括:衬底;通过外延生长于衬底上的第一接触层;通过外延生长于第一接触层上的包层;通过外延生长于包层上的第二接触层;通过外延生长于第二接触层上的有源区;通过外延生长于有源区上的第三接触层;通过沉积形成于第三接触层上的无定型硅波导;第一接触层、第二接触层以及包层的导电类型均相同,第三接触层与第一接触层的导电类型相反。本发明提供的制作集成多种光电器件的基材结构能够同时制成集成的多种光电器件,避免使用键合技术和昂贵的SOI衬底实现光电互联,制作工艺简单,有利于大规模低成本生产。

    图形、字型的大面积发光技术

    公开(公告)号:CN1210324A

    公开(公告)日:1999-03-10

    申请号:CN97115289.6

    申请日:1997-09-01

    IPC分类号: G09F13/22 G09F13/08

    CPC分类号: G09F2013/227

    摘要: 一种图形、字形的大面积发光技术,在各类装饰物的表面上及透明的,半透明的形体各异的外壳中和形状各异的独立的表面上,以PMMA373制作的汉字、字母、字形、图形与线路板供给适应的电流、电压及背面板组合连接。通电后,发光二极管发光,若干点光源通过高透光率的PMMA373制作成的字形、图形、而形成发光面。可用于霓虹灯、汽车、门牌、广告、铭牌、多棱体模型、仪器、仪表、日用品等。

    家用餐具清洗机
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN86106314A

    公开(公告)日:1988-01-13

    申请号:CN86106314

    申请日:1986-09-19

    申请人: 张运生

    发明人: 张运生

    IPC分类号: A47L15/16

    摘要: JX—1型家用餐具清洗机,是以自来水的自然压力为动力,采用变径增压的办法,达到强力冲洗的目的。动喷头两端喷管的喷水孔按一定角度相反靠喷水的反作用力,产生一个力耦,驱动动喷头边喷淋边旋转,并在箱体内壁反射,从而能冲洗到箱体内各位置。

    单臂油缸驱动机械爪
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219384504U

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202222564237.5

    申请日:2022-09-27

    申请人: 张运生

    发明人: 张运生

    IPC分类号: B66C3/04

    摘要: 本实用新型涉及一种单臂油缸驱动机械爪,包括底座、油缸、两爪装配、三爪装配以及连杆,底座包括定位孔一、定位孔二以及定位孔三,底座通过定位孔一固定油缸的固定端,油缸的伸缩端与三抓装配转动连接,两爪装配通过定位孔二与底座转动连接,三爪装配通过定位孔三与底座转动连接,两爪装配和三爪装配的上端通过连杆连接。本实用新型通过设置油缸、两爪装配、三爪装配以及连杆,通过油缸提供动力源对带抓物体能提供稳固抓力的同时,两爪装配、三爪装配的设置更适合抓取大件或者长条形物体。

    一种防足下垂锻炼器械
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201019973Y

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200720019337.2

    申请日:2007-03-14

    申请人: 张运生

    发明人: 张运生 杨霞

    IPC分类号: A61H1/00

    摘要: 一种防足下垂锻炼器械,属于医疗器械装置技术领域。目前对足下垂病人无很好的锻炼器械来进行康复训练,一般通过病人自己经常抬高腿或由陪护人员搬动病人的腿部来防治足下垂,次过程病人不容易坚持,陪护人员也不容易长久帮助进行陪护锻炼。该实用新型的技术方案为:支架5上设置有滑轮1,支架腿6固定在支架5上,牵拉绳4绕在滑轮1上,牵拉绳4一端固定有绳套2,其另一端固定有脚足固定套3。它的优点是:此防足下垂锻炼器械结构设计合理实用,构思巧妙新颖,病人使用它可坚持趣味性长久锻炼以防治足下垂,锻炼时无需陪护人员一般自己就可进行,它操作使用简单方便,病人躺着就可锻炼,它既可防治足下垂,又可锻炼患肢。