公开(公告)号：CN1910702A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200580002992.0

申请日：2005-01-20

Applicant: THK株式会社 ,  大东制机株式会社

Inventor： 石川裕一 ,  松富俊治 ,  长谷川勉 ,  难波光辉

IPC: G12B5/00 ,  F16C29/06

CPC classification number: F16C29/0647 ,  F16C19/502

Abstract: 本发明提供一种旋转工作台装置。该旋转工作台装置能够充分地满足轴向及径向振动精度、高分辨、薄型、中大型化的所有要求。具备导引装置和搭载在该导引装置上的旋转工作台，导引装置是具备在行进方向上无不连续部的环状的一体型轨道(11)、和相对于该轨道(11)由对置面组装上的多个导引块(12)的结构；将上述轨道(11)的上述对置面的相反侧面与上述旋转工作台(14)下表面相接合。轨道(11)的横截面是具有垂直部和在该垂直部上端向上述旋转工作台的半径方向延伸的水平部的大致L字形。作为检测机构(16)的被检测部(16a)的带式刻度尺被设置在上述轨道(11)的外周面上

公开(公告)号：CN1374494A

公开(公告)日：2002-10-16

申请号：CN02106500.4

申请日：2002-03-01

Applicant: 大东制机株式会社

Inventor： 铃木昇

IPC: F26B3/30 ,  H05K3/00

Abstract: 据由使远红外线对涂布在印刷基板的光阻油墨(resist ink)放射的状态,可从其表面使光阻油墨(resist ink)中的溶剂迅速向大气排出,而在印刷基板的后续工艺进行的微影(lithography)工艺,能防止发生微细配线图案(pattern)的断线。其解决的手段从具有金属表面的远红外线放射层,对印刷基板放射波长约3～约6μ的远红外线。并向该基板喷出加压媒体,以使此被干燥物体的温度在约180℃以下。

公开(公告)号：CN1910702B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200580002992.0

申请日：2005-01-20

Applicant: THK株式会社 ,  大东制机株式会社

Inventor： 石川裕一 ,  松富俊治 ,  长谷川勉 ,  难波光辉

IPC: G12B5/00 ,  F16C29/06

CPC classification number: F16C29/0647 ,  F16C19/502

Abstract: 本发明提供一种旋转工作台装置。该旋转工作台装置能够充分地满足轴向及径向振动精度、高分辨、薄型、中大型化的所有要求。具备导引装置和搭载在该导引装置上的旋转工作台，导引装置是具备在行进方向上无不连续部的环状的一体型轨道(11)、和相对于该轨道(11)由对置面组装上的多个导引块(12)的结构；将上述轨道(11)的上述对置面的相反侧面与上述旋转工作台(14)下表面相接合。轨道(11)的横截面是具有垂直部和在该垂直部上端向上述旋转工作台的半径方向延伸的水平部的大致L字形。作为检测机构(16)的被检测部(16a)的带式刻度尺被设置在上述轨道(11)的外周面上。