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发明公开
远红外线干燥装置、干燥装置构成体及干燥方法无效

公开(公告)号：CN1374494A

公开(公告)日：2002-10-16

申请号：CN02106500.4

申请日：2002-03-01

Applicant: 大东制机株式会社

Inventor： 铃木昇

IPC: F26B3/30 , H05K3/00

Abstract: 据由使远红外线对涂布在印刷基板的光阻油墨(resist ink)放射的状态,可从其表面使光阻油墨(resist ink)中的溶剂迅速向大气排出,而在印刷基板的后续工艺进行的微影(lithography)工艺,能防止发生微细配线图案(pattern)的断线。其解决的手段从具有金属表面的远红外线放射层,对印刷基板放射波长约3～约6μ的远红外线。并向该基板喷出加压媒体,以使此被干燥物体的温度在约180℃以下。

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