一种通过气吹调整沟槽结构的蚀刻方法及金属散热片

    公开(公告)号:CN117888106A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311761506.X

    申请日:2023-12-19

    IPC分类号: C23F1/08

    摘要: 本发明涉及湿法蚀刻技术领域,尤其是指一种通过气吹调整沟槽结构的蚀刻方法及所制得的金属散热片,主要包括以下步骤:B.通过传输机构把板件传输至蚀刻机构的正下方;D.电磁阀控制喷嘴与蚀刻液源连通,通过喷嘴往板件喷淋蚀刻液;E.由电磁阀控制喷嘴与蚀刻液源不再接通,使得板件被蚀刻液进行蚀刻而产生一级沟槽;F.通过部分电磁阀控制对应的部分喷嘴与气源接通,由喷嘴对板件吹气,以使得一级沟槽内的蚀刻液被气体分隔,从而对一级沟槽的部分内底壁继续进行蚀刻以形成二级沟槽。本发明通过电磁阀控制喷嘴在连通蚀刻液源与连通气源之间切换,通过呈矩阵分布的喷嘴进行吹气控制,从而可形成结构更为丰富的沟槽结构。

    一种基于激光诱导蚀刻的均热板制备方法及设备

    公开(公告)号:CN115609140B

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202211144556.9

    申请日:2022-09-20

    摘要: 本发明涉及金属加工技术领域,尤其是指一种基于激光诱导蚀刻的均热板制备方法及应用于该方法的设备,该方法包括以下步骤:A.对金属工件清洗;B.把金属工件浸没在蚀刻液中并进行固定,由蚀刻液于金属工件表面形成第一孔隙结构;C.采用激光诱导方式成型凹腔,并使得凹腔内形成第二孔隙结构。D.把均热板自蚀刻液中取出,然后清洗均热板以祛除其表面残留的蚀刻液。本发明结合金属蚀刻以及激光诱导两种方式,通过两者同时进行的方式,使得均热板表面形成有凹腔,并让凹腔以及均热板表面分别具有孔隙密度不同的孔隙结构,从而让均热板的毛细性能更好。

    一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法

    公开(公告)号:CN116043225A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202211731851.4

    申请日:2022-12-30

    IPC分类号: C23F1/08

    摘要: 本发明涉及金属蚀刻技术领域,尤其是指一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法,包括机体、支撑台、模具以及蚀刻机构,支撑台设置于机体,模具安装于支撑台,模具的顶部设置有弧形定位面,弧形定位面用于支撑曲面金属;蚀刻机构用于往曲面金属的上表面喷淋蚀刻液。本发明通过在模具设有弧形定位面,经弧形定位面对曲面金属进行定位后,再由蚀刻机构对曲面金属进行喷淋蚀刻,基于蚀刻液到达工件表面不同位置的蚀刻压力均不同,导致结构蚀刻的深度不同,从而实现了不同位置所蚀刻成型的微结构深度和形状不同。

    一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法

    公开(公告)号:CN111465277B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202010333475.8

    申请日:2020-04-24

    IPC分类号: H05K7/20 G03F7/30 G03F7/40

    摘要: 本发明涉及散热片制备技术领域,具体涉及一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法。该方法包括如下步骤:步骤A:采用菲林机绘制散热片菲林,并输出所述散热片菲林;步骤B:取一金属散热片,在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶,烘干;步骤C:将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准,然后进行曝光;步骤D:将曝光处理后的金属散热片进行显影处理,烘干;步骤E:将显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻,蚀刻后采用去膜液去除感光胶,则制得不同厚度的散热片。本发明的蚀刻方法操作简便,可在同一块金属散热片上同时蚀刻不同厚度,提高了蚀刻不同厚度的生产效率,简化传统的蚀刻工艺,成本低,能适用于大规模生产中。

    一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法

    公开(公告)号:CN114574862A

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202210210319.1

    申请日:2022-03-03

    IPC分类号: C23F1/08 C23F1/02

    摘要: 本发明涉及蚀刻加工技术领域,尤其是指一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法,该加工装置包括传输机构、输液机构以及吹风机构,所述传输机构用于传输工件,所述输液机构包括限位板、输液件以及多个阵列设置于所述输液件的喷头,所述限位板用于盖设在工件顶部,所述限位板设置有若干条限位槽,工件带蚀刻的位置经限位槽显露在喷头的下方,喷头用于往限位槽喷洒蚀刻液;所述吹风机构用于吹动限位槽内的蚀刻液以使得蚀刻液在工件上蚀刻形成非等深的微槽结构。本发明通过设置有吹风机构,使得蚀刻液在气流辅助作用下呈区域性分布,蚀刻均匀;让蚀刻深度过渡更加平缓,加工效率高;同时可控制侧壁蚀刻液流动状态,生成可控形貌结构。

    一种基于蚀刻及电沉积的金属表面二次加工方法

    公开(公告)号:CN116288374A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202211734368.1

    申请日:2022-12-30

    摘要: 本发明涉及金属热管加工技术领域,尤其是指一种基于蚀刻及电沉积的金属表面二次加工方法,包括:A.对金属基板进行涂布曝光显影处理;B.对经涂布曝光显影处理后的金属基板进行蚀刻处理,以使得金属基板表面成型预设深度的沟槽结构;C.对经蚀刻后的金属基板进行清洗;D.对清洗后的金属基板的沟槽结构填充绝缘胶体;E.对填充绝缘胶体后的金属基板进行电沉积处理,以使得金属基板未被蚀刻的位置表面成型图案;F.把对金属基板进行后处理。本发明通过蚀刻成型沟槽结构后,再通过电沉积的方式在金属基板表面成型图案,通过图案加大沟槽结构的深度,从而让沟槽结构的深宽比大于1,使得金属基板表面具有更高效的毛细性能。

    一种具有互通网格空腔的吸液芯制备方法及吸液芯

    公开(公告)号:CN115682793A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211164863.3

    申请日:2022-09-23

    IPC分类号: F28D15/04

    摘要: 本发明涉及湿法蚀刻技术领域,尤其是指一种具有互通网格空腔的吸液芯制备方法及应用该方法所制得的吸液芯,该方法主要包括以下步骤:A.在金属工件表面铺设一层金属粉末;B.对金属工件表面的金属粉末进行选区熔化,以使得该选区的金属粉末与金属工件熔化并黏连以形成黏连结构;C.重复步骤A‑B,直至金属工件表面形成网状空腔结构;D.对金属工件进行除粉;E.对金属工件进行蚀刻前处理;F.往金属工件以及网状空腔结构进行喷淋蚀刻液;G.清洗工件。本发明通过选区熔化的方式,制备处相邻空腔彼此连通的网状空腔结构,再对其进行蚀刻处理以加工出纳米级的多孔结构,从而形成了结构更为复杂的吸液芯结构,使得毛细性能大幅度提升。

    一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法

    公开(公告)号:CN111465277A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010333475.8

    申请日:2020-04-24

    IPC分类号: H05K7/20 G03F7/30 G03F7/40

    摘要: 本发明涉及散热片制备技术领域,具体涉及一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法。该方法包括如下步骤:步骤A:采用菲林机绘制散热片菲林,并输出所述散热片菲林;步骤B:取一金属散热片,在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶,烘干;步骤C:将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准,然后进行曝光;步骤D:将曝光处理后的金属散热片进行显影处理,烘干;步骤E:将显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻,蚀刻后采用去膜液去除感光胶,则制得不同厚度的散热片。本发明的蚀刻方法操作简便,可在同一块金属散热片上同时蚀刻不同厚度,提高了蚀刻不同厚度的生产效率,简化传统的蚀刻工艺,成本低,能适用于大规模生产中。

    一种基于蚀刻的喇叭网成型方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118900394A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202410936992.2

    申请日:2024-07-12

    IPC分类号: H04R31/00

    摘要: 本发明涉及喇叭网技术领域,尤其是指一种基于蚀刻的喇叭网成型方法,包括以下步骤:A.于金属板表面形成网格状的掩膜区域,对掩膜区域进行涂布掩膜处理;B.对金属板进行蚀刻处理,以使得金属板未被掩膜处理的区域因蚀刻而形成贯穿的槽,从而形成网格结构;C.清洗金属板;D.对清洗后的金属板进行表面处理。本发明通过蚀刻工艺于金属板蚀刻网格结构,比起冲压成型对金属板施加的压力更小,从而让网格小且密的喇叭网也能够可靠成型而不发生变形甚至断裂。

    一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法

    公开(公告)号:CN116043225B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202211731851.4

    申请日:2022-12-30

    IPC分类号: C23F1/08

    摘要: 本发明涉及金属蚀刻技术领域,尤其是指一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法,包括机体、支撑台、模具以及蚀刻机构,支撑台设置于机体,模具安装于支撑台,模具的顶部设置有弧形定位面,弧形定位面用于支撑曲面金属;蚀刻机构用于往曲面金属的上表面喷淋蚀刻液。本发明通过在模具设有弧形定位面,经弧形定位面对曲面金属进行定位后,再由蚀刻机构对曲面金属进行喷淋蚀刻,基于蚀刻液到达工件表面不同位置的蚀刻压力均不同,导致结构蚀刻的深度不同,从而实现了不同位置所蚀刻成型的微结构深度和形状不同。