-
公开(公告)号：CN116130400B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202310032261.0
申请日：2023-01-10
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , B25H1/00 , B25H1/08
摘要： 本发明涉及硅片检测技术领域，公开一种精密运动台。其中精密运动台包括支架、承载盘、升降组件和驱动组件。承载盘转动安装于支架上，承载盘用于承载硅片；升降组件包括丝杠、丝母和多个支撑杆，多个支撑杆环设且连接于丝母，丝杠转动连接于支架，丝母螺纹连接于丝杠，承载盘设置有多个通孔，支撑杆能够穿设于通孔；驱动组件包括旋转轴、驱动件、第一连接件和第二连接件，旋转轴环设于升降组件的外侧，且转动连接于支架；驱动件驱动连接于旋转轴，用于驱动旋转轴转动；第一连接件用于旋转轴与承载盘之间连接或断开，第二连接件用于旋转轴与丝杠之间连接或断开。本发明保证了承载盘吸附硅片的平面度，提高精密运动台的集成度。
-
公开(公告)号：CN116031188B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202310155115.7
申请日：2023-02-23
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 本发明属于半导体技术领域，公开一种硅片交接装置，包括旋转组件和夹持锁定组件；旋转组件包括支撑硅片的旋转支撑架和旋转驱动机构，旋转支撑架具有交接位和非交接位，当旋转支撑架处于交接位，硅片能脱离旋转支撑架，旋转驱动机构驱动旋转支撑架转动以使旋转支撑架处于交接位或非交接位；夹持锁定组件包括可升降的夹持机构，夹持机构设有锁定件，夹持机构具有夹持位和锁定位，当夹持机构处于夹持位，夹持机构能抵压硅片；当夹持机构处于锁定位，锁定件能限制旋转支撑架转动，夹持锁定组件能相对于旋转支撑架往复升降以使夹持机构处于夹持位或锁定位。本发明的硅片交接装置，稳定性和安全性较高，保证对硅片可靠装载，避免硅片交接过程中的损坏。
-
公开(公告)号：CN118522678A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410625760.5
申请日：2024-05-20
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种晶圆传输设备的工位标定方法、装置、设备及介质，通过建立载盘和标定工装之间的相对位置关系，并确定标定工装的标定中心；根据标定中心建立相机和标定工装之间的相对位置关系；机械手根据原点坐标对标定工装进行抓取，建立机械手与标定工装之间的相对位置关系；收集机械手在相机的视场范围内移动标定工装的过程中产生的相对坐标数据；基于收集到的相对坐标数据计算得到相机与机械手之间的参数关系，并基于参数关系对原点坐标进行修正，完成工位标定，采用具有视觉识别功能的相机对机械手的原点坐标进行补差修正，从而达到中心对准的目的，实现了对面向结构紧凑型的工位进行标定，定位精度高且稳定性好。
-
公开(公告)号：CN113109354B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202110374175.9
申请日：2021-04-07
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 崔国栋
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明公开了一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，标定块包括沿第一方向排布的N个台阶部，沿第二方向，N个台阶部的高度各不相同，其中，第一方向垂直于第二方向，N≥2且N为整数，台阶部包括垂直于第二方向的顶面，顶面设置有分辨率测试图案。本发明提供的标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法，通过设置高度各不相同的N个台阶部，且每个台阶部的顶面均设置有分辨率测试图案，使得缺陷检测装置的图像采集模块与标定块处于相对静止的状态下即可获取不同高度平面内的分辨率测试图案的图像，实现对图像采集模块的焦深和最佳焦面的标定，无需再令图像采集模块进行垂向运动，操作简单，且不会耦合进垂向运动的误差，提高了标定的精度。
-
公开(公告)号：CN117849051A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311836488.7
申请日：2023-12-27
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明实施例公开了一种缺陷检测系统、方法、装置、设备及存储介质。该系统包括：载物台、照明子系统、成像子系统、与所述照明子系统相对应的传感器及处理器；所述照明子系统及所述传感器均与所述处理器相连；所述成像子系统设置于所述载物台之上，用于对放置于所述载物台上的被检测物体进行成像；所述照明子系统设置于所述成像子系统的入射光路上，所述传感器设置于所述成像子系统的成像光路上；所述被检测物体中的目标区域位于所述照明子系统的照射区域中。该系统能够提高检测效率，保证检测结果的准确性。
-
公开(公告)号：CN113238518B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202110492592.3
申请日：2021-05-06
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 李晋甲
IPC分类号： G05B19/048
摘要： 本发明提供了一种运动控制系统及驱动器切换方法，涉及半导体技术领域，该运动控制系统包括：运动台；电机，电机的输出端与运动台连接；切换模块，切换模块的输出端与电机的输入端连接；第一驱动器，第一驱动器的输出端与切换模块的输入端连接；第二驱动器，第二驱动器的输出端与切换模块的输入端连接，第二驱动器具有的第二控制精度大于第一驱动器具有的第一控制精度；主控制器，主控制器用于控制切换模块在第一驱动器与第二驱动器之间进行与电机接通的切换。该运动控制系统采用不同控制精度的两个驱动器来驱动单个电机，通过切换模块实现两个驱动器之间与电机接通的切换，保证控制精度的同时，降低了成本，简化了结构。
-
公开(公告)号：CN111551556B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202010432552.5
申请日：2020-05-20
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 赵赫
摘要： 本发明公开了一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，缺陷检测装置包括探测模块、处理模块、运动台、同步控制模块以及至少两个光源，至少两个光源用于根据同步控制模块的控制信号交替发射脉冲光束，运动台用于根据同步控制模块的控制信号带动待测样品移入探测模块的探测视场，探测模块用于根据同步控制模块的控制信号周期性的获取待测样品的图像信息，处理模块用于对图像信息进行缺陷检测，其中，所述脉冲光束的持续时段与所述探测模块的曝光时段至少部分重叠，且V≤(W/N)/T，V为运动台的移动速度，W为探测视场的宽度，N为光源的数量，T为探测模块采集图像信息的探测周期。本发明提供的缺陷检测装置及缺陷检测方法，提高了检测效率。
-
公开(公告)号：CN116204004A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310208359.7
申请日：2023-03-06
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 杜文豪
IPC分类号： G05D19/02
摘要： 本发明公开了一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质。本发明涉及运动台减振技术领域。该方法包括：第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。
-
公开(公告)号：CN113364355B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110671015.0
申请日：2021-06-17
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 江齐
摘要： 本发明公开了一种电机驱动转换装置和三相无刷电机设备，包括：换相驱动电路、微控制器和霍尔信号采集电路；换相驱动电路接收单相电机驱动器提供的单相驱动信号；微控制器控制换相驱动电路将单相驱动信号转换为三相电机的三相驱动信号，以驱动三相电机；霍尔信号采集电路采集三相电机中霍尔传感器的霍尔信号；微控制器还根据霍尔信号采集电路采集的霍尔信号，控制换相驱动电路调整三相驱动信号。本发明提供的技术方案，无需改变整机控制程序和电气接口，就可将单相电机的单相驱动信号转换为三相电机的三相驱动信号，来驱动三相无刷电机的转动，具有可靠性高、转换成本低的特点。
-
公开(公告)号：CN114690663A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210296150.6
申请日：2022-03-24
申请人： 上海御微半导体技术有限公司
发明人： 杜文豪
IPC分类号： G05B17/02
摘要： 本发明提供了一种基于模型开发的仿真控制平台及上料交接测试方法，所述基于模型开发的仿真控制平台，包括依次通信连接的上位机模块、进程逻辑转换模块、下位机模块和虚拟对象模块，其中，所述上位机模块用于与所述下位机模块进行通信，所述下位机模块用于生成可供所述虚拟对象模块执行的运动固件，所述虚拟对象模块用于对目标控制对象进行建模设计，所述进程逻辑转换模块用于对所述下位机模块中的进程进行逻辑转换，以将所述下位机模块和所述上位机模块中的时序统一。本发明通过将非线性硬件线性化建模，实现对控制对象进行系统建模，以完成系统级测试和仿真，提高了开发效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
132 条记录 (耗时 0.043 秒)
