本发明实施例公开了一种缺陷检测系统、方法、装置、设备及存储介质。该系统包括：载物台、照明子系统、成像子系统、与所述照明子系统相对应的传感器及处理器；所述照明子系统及所述传感器均与所述处理器相连；所述成像子系统设置于所述载物台之上，用于对放置于所述载物台上的被检测物体进行成像；所述照明子系统设置于所述成像子系统的入射光路上，所述传感器设置于所述成像子系统的成像光路上；所述被检测物体中的目标区域位于所述照明子系统的照射区域中。该系统能够提高检测效率，保证检测结果的准确性。