双面电极及其图案化方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110554789A

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201810541243.4

    申请日:2018-05-30

    IPC分类号: G06F3/041

    摘要: 一种双面电极的图案化方法,包括:提供基板,基板具有相对两表面,该两表面上分别设有第一感光层与第二感光层;设置由金属纳米线所组成的第一金属纳米线层于第一感光层上,设置由金属纳米线所组成的第二金属纳米线层于第二感光层上;以及进行双面黄光微影步骤,包括:将第一感光层及第二感光层进行曝光以定义出去除区与保留区;以及使用显影液将位于去除区的第一感光层与金属纳米线以及位于去除区的第二感光层与金属纳米线去除,以将第一金属纳米线层与第二金属纳米线层图案化而分别形成设置于该两表面上的第一电极及第二电极。更提出一种双面电极。