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公开(公告)号：CN116615299A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180078290.X
申请日：2021-11-23
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23K26/03
摘要： 本发明提供一种激光加工设备，该激光加工设备可实施一制程以借由引导激光能量至具有一第一材料的一工件上使得该激光能量入射于该第一材料上而在该工件中形成一贯孔，该第一材料形成于一第二材料上，其中该激光能量具有一波长，该第一材料比该第二材料对该波长反射更多。该设备可包括：一背向反射感测系统，其可操作以捕捉对应于经引导至该工件并由该第一材料反射的激光能量的一部分的一背向反射信号且基于该捕捉的背向反射信号产生一感测器信号；及一控制器，其以通信方式耦接至该背向反射感测系统的一输出端，其中该控制器可操作以基于该感测器信号控制形成该贯孔的该制程的一剩余部分。
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公开(公告)号：CN116213918A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211600049.1
申请日：2016-09-08
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 马克·昂瑞斯 , 杨川 , 言恩·克雷能特 , 马克·匹柏斯 , 休·欧文斯 , 格温多林·拜恩 , 张海滨 , 贾斯汀·雷德 , 柯瑞·纽菲尔德 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 大迫·康 , 玛密特·艾尔帕 , 林智斌 , 派崔克·莱歇尔 , 提姆·纽寇斯 , 松本久 , 克里斯·莱德
摘要： 本发明改良用于镭射处理工件的设备与技术，并且提供新功能。本发明讨论的某些实施例与以会提高精确性、总处理量、…等的方式来处理工件有关。其它实施例则关于即时Z高度量测，并且在合宜时，进行特定Z高度偏差补偿。本发明的再其它实施例则关于扫描图样、射束特征、…等的调变，以便帮助进行特征元件成形、避免非所希望的热能累积、或是提高处理总处理量。本发明亦详细说明大量的其它实施例和配置。
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公开(公告)号：CN115335178A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180018781.5
申请日：2021-03-10
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/06 , B23K26/062 , B23K26/082 , B23K26/352 , B23K26/70
摘要： 一种用于在一工件中形成特征的激光加工设备，其包括用于产生表示以下各者的制程控制数据的至少一个感测器：a)在加工所述工件以形成一组特征之前、期间或之后的所述设备的至少一个特性；b)在加工所述工件以形成一组特征之前、期间或之后的所述工件的至少一个特性；及/或c)在加工所述工件以形成一组特征之前、期间或之后的所述设备所在的一周围环境的至少一个特性。一控制器执行或促进执行一候选特征选择制程，借此处理制程控制数据以估计形成于所述工件中的所述特征中的任一者是否有缺陷，且识别经估计为有缺陷的任一特征的位置。
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公开(公告)号：CN114585940A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202080060297.4
申请日：2020-09-09
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 道格·贾西亚
摘要： 一种与可操作以传送装置的构件测试系统一起使用的电测量接触系统，其包含：第一模组，其包含测试接触模组，所述测试接触模组具有适配于电接触由所述构件测试系统所传送的装置的测试接点；以及第二模组，其包含电耦接至所述测试接触模组并且操作以在被传送至所述测试接点的装置上执行电测量的电路。所述电路是在所述第二模组之内连接至第一导电路径以及第二导电路径。所述第一导电路径以及所述第二导电路径延伸到所述第一模组中。所述第一导电路径以及所述第二导电路径彼此电连接，并且电连接至所述第一模组中的所述测试接触模组。
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公开(公告)号：CN111133361B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201880055941.1
申请日：2018-09-20
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明关于一种光束定位器，其大体经特性化为包括第一声光(AO)偏转器(AOD)，该第一声光(AO)偏转器(AOD)可操作用以使线性偏振镭射光的入射光束绕射，其中该第一AOD具有第一绕射轴且其中该第一AOD定向使得该第一绕射轴与该线性偏振镭射光的偏振平面具有预定空间关系。该光束定位器可包括配置于光束路径内的至少一个相移反射器，光可沿着该光束路径自该第一AOD传播。该至少一个相移反射器可被配置及定向以旋转由该第一AOD绕射的光的偏振平面。
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公开(公告)号：CN112928591A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110117715.5
申请日：2014-03-14
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 杰恩·克雷能特
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/067 , H01S3/00 , B23K26/03 , B23K26/035 , B23K26/067
摘要： 一种以激光为基础样本的处理系统(112)的激光射束定位系统(110)自一全光纤耦接光学相位阵列激光射束操纵系统(80)在射束定位器载台(124)处产生一操纵激光输入射束(106)。系统(110)透过一或更多其它射束定位器载台(130、131、134)来导引射束(106)以形成一处理激光射束(116)，其处理安装在一支撑件(122)上的工件(120)的目标特征(118)。
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公开(公告)号：CN106461382B
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201580023963.6
申请日：2015-05-06
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/01 , G01N21/952
摘要： 本发明揭示一种有效地收集检测中物体(7)的图像的检测系统。此检测系统包含(a)三轴线性运动级(10)；(b)旋转第四轴级(11)，其经配置以固持和旋转待检测的物体(7)。此旋转第四轴级(11)安装在所述三轴线性运动级(10)上；(c)第五轴相机(1)和光学系统(4)，其安装到所述三轴线性运动级(10)的轴中的一个轴上。此第五轴相机(1)具有基本上平行于线性运动的所述轴的光轴；(d)45°镜，其经配置以将所述第五轴相机(1)的所述光轴弯曲90°以指向所述物体(7)；以及(e)电动机(3)，其经配置以使所述镜子旋转一系列角度以获得检查定向的第五轴。
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公开(公告)号：CN107111293B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201580069926.9
申请日：2015-12-08
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 乔瑟夫·马修·哈士堤 , 亚历山大·安纳特理分琪·米安琪 , 马克·塔德尔·阔默斯奇
摘要： 与支撑夹具(36)相关联的对准特征(60)提供侧部扫描数据及顶部扫描数据参考点。侧部扫描位移传感器(112)获得工件边缘段(23)的侧部扫描数据，且一或多个相机(130)获得顶部扫描数据以为所述侧部扫描数据提供加工参考。可将所述侧部扫描数据变换成可由激光加工系统(140)使用的俯视图坐标系。
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公开(公告)号：CN110039329A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910052560.4
申请日：2016-06-21
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/30
摘要： 一种多轴工具机，包括有镭射源、工件定位总成、工具尖定位总成和控制器。该镭射源被配置为产生包括光束腰的聚焦的激光束；该工件定位总成被配置为将工件定位在可传播聚焦的该激光束的路径中，其中该工件定位总成进一步操作以使该工件绕至少一轴旋转并且使该工件沿至少一轴平移；该工具尖定位总成的操作以使由该镭射源产生的该激光束的该光束腰沿至少一轴移动，其中该工具尖定位总成包括由以下所组成的群组所选出的至少一者：声光偏转器系统、微机电系统镜系统和自适应光学系统；该控制器在操作上耦合至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成，并且被配置至该镭射源、该工件定位总成和该工具尖定位总成的操作。
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公开(公告)号：CN110039173A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910227044.0
申请日：2011-10-24
申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人： 马克·A·昂瑞斯 , 安德鲁·柏威克 , 亚历山大·A·麦亚钦
IPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/082 , B23K26/073 , B23K26/364 , H01L21/48
摘要： 一种镭射加工系统包括用于赋予沿着相对于工件的光束轨迹的光束路径的第一相对运动的第一定位系统，用于确定沿着多个抖动行的光束路径的第二相对运动的处理器，用于赋予该第二相对运动的第二定位系统，和发出镭射光束脉冲的镭射源。该系统可补偿在加工速度中的变化从而以预定角度保留抖动行。例如，该抖动行可不顾加工速度而保持垂直于该光束轨迹。可将该加工速度调整以对整数抖动行加工来完成沟槽。可基于该沟槽宽度来选择每一行中的抖动点的数量。可通过对加工速度和沟槽宽度的变化的调整来归一化注量。
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