一种耐高温高湿湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115201283A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210585553.2

    申请日:2022-05-27

    IPC分类号: G01N27/22

    摘要: 本申请公开了一种耐高温高湿湿度传感器,包括硅晶圆和湿敏膜;所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的金属电极;所述湿敏膜形成在所述金属电极表面;所述湿敏膜采用反应体系中引入光敏基团和多官能度胺所得到的交联型聚酰胺酸薄膜。本申请还公开了一种耐高温高湿湿度传感器的制备方法。本申请所述的耐高温高湿湿度传感器采用含氟交联型聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜,降低了湿敏膜的吸湿率和介电常数,赋予湿敏膜耐热、稳定、耐水解等性能;降低了湿度传感器的湿度偏差,提其高测量精准度。

    一种用于氧气传感器的金属氮化物膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN112858439B

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202011607797.3

    申请日:2020-12-30

    IPC分类号: G01N27/409

    摘要: 本发明涉及氧气传感器技术领域,提供一种用于氧气传感器的金属氮化物膜的制备方法,用于替代现有的贵金属催化剂,降低成本;本发明提供一种用于氧气传感器的金属氮化物膜的制备方法,包括基材前处理;将基材放置于工作腔体内,抽真空;对工作腔体进行加热,同时旋转基材;向工作腔体内通入氩气和氮气的混合气氛;在基材上先通过直流电源溅射核心靶材,再通过射频电源溅射掺杂靶材形成金属氮化物膜;所述核心靶材与掺杂靶材均选自锆、钛、钒、钽、钼中的一种或多种,且核心靶材与掺杂靶材所选的金属不同;本发明制备的用于氧气传感器的金属氮化物膜,均一性好,适用于工业量产;且本发明制备的用于氧气传感器的金属氮化物膜用于氧气传感器中作为电极材料使用时,具有较好的响应速度、线性度、一致性和稳定性。

    光刻胶清洗装置及其清洗方法

    公开(公告)号:CN113917806A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111205307.1

    申请日:2021-10-15

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明提供了一种光刻胶清洗装置及其清洗方法,所述光刻胶清洗装置,包括溶解箱体、升降固定台、冲洗机构以及控制单元;所述溶解箱体包括用于盛装溶解液的溶解腔室;所述升降固定台置于所述溶解腔室内,用于承托硅片;所述冲洗机构包括冲洗喷头,该冲洗喷头置于高于所述升降固定台的上方空间处;所述控制单元用于控制所述升降固定台在溶解液液面上下之间切换,且用于控制所述冲洗机构移动到使其冲洗喷头对准所述升降固定台的位置。本发明的光刻胶清洗装置可通过控制单元控制溶解箱体、升降固定台及冲洗机构之间相互配合工作,以自动完成对未清洗的硅片清除残留的光刻胶,提高了生产效率与良品率,便于大规模应用。

    一种光电冷镜式露点传感器
    84.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113834855A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111414814.6

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: G01N25/66

    摘要: 本发明公开了一种光电冷镜式露点传感器,包括依次连接的控制系统、结露系统和光电检测系统;所述控制系统包括壳体和依次安装于壳体内的PCB主控板、PCB转接板和焊针,所述PCB主控板的底部和顶部分别设有航空接头和连接座,所述航空接头穿过壳体的底部,用于与外部的电器件连接;所述连接座与PCB转接板连接,进而连接焊针,并通过焊针连接结露系统和光电检测系统。本发明通过半导体工艺镀铂金并涂覆抗油疏水材料的镜面,及软件控制,获得抗污自清洁的效果,保证仪器长期工作精度;本发明还有效解决了现有的露点仪体积大、功耗高,成本高等问题,具有结构紧凑小巧、降低功耗、降低成本和提高效率、延长使用寿命的有益效果。

    一种结露系统及其露点仪
    85.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112394086B

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202011418274.4

    申请日:2020-12-07

    IPC分类号: G01N25/68

    摘要: 本发明提供了一种结露系统,包括测温计;制冷片,其上表面为制冷面,下表面为散热面;导热结构;镜面;其中,所述镜面为硅片,且其外表面设有铂层或金层或铑层;和/或,所述镜面为硅片,且其外表面设有铂层或金层或铑层,所述铂层或金层或铑层上表面设有疏水性材料涂层。本发明的结露系统能够减小体积,从而提高响应速度,避免制冷性能损耗,还能防止水汽通过结露系统渗入到应用该结露系统的露点仪内部。本发明的露点仪能够避免线路露出露点仪外界、防止水汽和空气进入对露点仪内部电路和元器件造成损坏、避免有毒气体通过腔体泄露到外界、避免电气针和散热座导电、避免电气针和控制转接板之间连接产生错位。

    一种芯片标定设备
    86.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214473691U

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202023287011.2

    申请日:2020-12-30

    IPC分类号: G01R31/01 G01R31/28

    摘要: 本发明涉及自动检测技术领域,提高一种芯片标定设备,包括控制器;检测台,其连接所述控制器,且其具有检测位;运输模组,其与所述检测台具有一定距离;搬运模组,其连接所述控制器,且与所述运输模组滑动连接,可沿所述运输模组移动,所述搬运模组用于搬运芯片;测试模组,其连接所述控制器,且与所述运输模组滑动连接,可沿所述运输模组移动;其中,所述搬运模组沿所述运输模组移动,并将芯片搬运至所述检测位后,所述测试模组沿所述运输模组移动至所述检测位上方,并对所述芯片进行检测。本发明通过机器代替人工检测的手段,提高了芯片的检测效率,且减少了人为的干预,避免了人为的操作对芯片检测的影响,提高了检测结果的准确性。

    一种负离子发生器
    87.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214153429U

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202023204886.1

    申请日:2020-12-25

    IPC分类号: H01T23/00

    摘要: 本发明涉及负离子技术领域,提供一种负离子发生器,包括负离子发生器本体,其具有安装腔;陶瓷基板,其固定于所述安装腔内并与所述负离子发生器本体绝缘连接;放电针;弹性件,其一端抵压所述安装腔底部,另一端抵压所述陶瓷基板;其中,所述放电针与所述高压负离子涂料放电区形成强电场,以通过电晕效果产生负离子团。本发明设置了安装腔对陶瓷基板进行了保护;在安装腔设置了弹性件固定所述陶瓷基板使所述陶瓷基板不易发生位移,稳定产生负离子,并利用弹性件作为导电介质,连通所述陶瓷基板和高压线,实现一物多用的目的。本发明还对负离子发生器本体的结构、陶瓷基板及其连接关系进行改进,以达到快捷安装和使所述陶瓷基板稳定的目的。

    一种用于刻蚀设备的进气装置

    公开(公告)号:CN210403654U

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201921078259.2

    申请日:2019-07-10

    发明人: 张宾 李东滨

    IPC分类号: H01J37/32 H01L21/67

    摘要: 本实用新型公开了一种用于刻蚀设备的进气装置,包括进气座,所述进气座内设有主气道以及引流气道,主气道的一端设有第一进气端;主气道的另一端设有出气端;引流气道的一端设有第二进气端,所述引流气道的另一端为盲端;所述第一进气端用于与外部供气管路连通;出气端与第二进气端连通;所述引流气道在进气座由进气座的中心呈非直线状态延伸至进气座的边缘;所述引流气道设有多个气孔;多个气孔在引流气道的延伸方向上间隔分布。本实用新型的进气装置,其引流气道可引导气流呈非直线状态流动,提高气体流动时的阻力,使引流气道内各处的气孔导出气体量差异较小。

    一种结露传感器
    89.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208420777U

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201821166534.1

    申请日:2018-07-23

    发明人: 张宾

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本实用新型公开了一种结露传感器,包括基板,所述基板为印刷电路板,所述基板的一面设有相对而置的一对电极,所述基板的另一面设有两焊盘,所述两焊盘与一对电极对应的通过通孔连接,所述一对电极上均设有与其相接触的感湿膜,所述感湿膜由湿度敏感浆料烘焙制成。本实用新型的一种结露传感器,采用印刷线路板,并利用通孔将电极与焊盘连接起来实现导通功能,与传统工艺相比,工艺更加简单,成本更加低,大大优化结露传感器的生产工艺,降低结露传感器的生产成本,便于批量化生产,提高了结露传感器的生产效率。

    一种集成温度检测的风量传感器装置

    公开(公告)号:CN206989990U

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201720539472.3

    申请日:2017-05-15

    发明人: 张宾

    IPC分类号: G01D21/02

    摘要: 本实用新型公开了一种集成温度检测的风量传感器装置,包括转动外壳以及安装于转动外壳内的风扇和检测电路,风扇的转轴上设有磁环;所述检测电路包括温度检测电路和风量检测电路;当风扇的扇叶在外力的作用下运动时对转轴产生压力使得转轴带动磁环运动,风量检测电路用于获取磁环运动过程中,当前环境中的磁场的变化并将其转换为电信号输出;所述温度检测电路用于对当前温度进行检测并将温度信号输出。本实用新型将温度检测与风量检测集成到一起,从而可实现对温度及风量的同步监测。