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公开(公告)号：CN106395729A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610887764.6
申请日：2016-10-11
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: B81B3/0032 , B81C1/00182 , B81C3/001
Abstract: 一种基于液晶弹性聚合物的干粘附功能结构及制造工艺，功能结构包含两层结构，顶层为隆起状态的蘑菇状阵列结构，底层为高弹性模量聚合物的凹槽结构，制造工艺是先进行顶层蘑菇状阵列结构的制备，然后进行底层高弹性模量聚合物的凹槽结构，再把顶层蘑菇状阵列结构和底层高弹性模量聚合物的凹槽结构粘结在一起形成复合结构，最后进行顶层液晶弹性聚合物蘑菇状阵列结构电致动特性的激活，制造出隆起状态的液晶弹性聚合物的顶层蘑菇状阵列结构和底层高弹性模量聚合物凹槽结构复合的功能结构，基于液晶弹性聚合物的干粘附功能结构能够在保持蘑菇状阵列结构高粘附强度的前提下，实现干粘附功能结构在电场调控下的可控脱附与粘附。
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公开(公告)号：CN105923599A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610398319.3
申请日：2016-06-07
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: B81B3/0054 , B81C3/001 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺，复合结构顶层为蘑菇状阵列结构，底层为周期性阵列结构的气阀板，气阀板和蘑菇状阵列结构通过一层低表面能材料粘结成为一个整体，气阀板的通孔与气压机连接；制造工艺是先进行顶层的蘑菇状阵列结构的制备，再进行底层的气阀板的制造，最后进行复合结构的耦合成型，得到基于气致动的复合结构，本发明复合结构实现高强度粘附和可控脱附的有机统一。
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公开(公告)号：CN103204458B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310082719.X
申请日：2013-03-14
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于紫外光固化驻极体的自组装方法，先利用光刻、溅射、剥离工艺制备出具有一定图形结构的导电金模板，对其进行表面处理，再选取透明导电材料作为基材，在基材上制备微米级别的UV光固化聚合物材料，然后通过施加在导电基材和导电金模板之间的外电场在UV光固化聚合物表面诱导出图形化电荷，在保持电压不变的情况下利用紫外光从底部透过透明导电基材照射UV光固化聚合物材料，使聚合物材料固化的同时冻结外电场诱导出的图形化电荷，最后撤去外加电压，将导电金模板从紫外光固化驻极体表面揭下，利用紫外光固化驻极体的图形化电荷产生的静电力实现多种纳米材料的自组装，可广泛应用在光电子、生物制药、气体传感器、光伏器件等许多领域。
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公开(公告)号：CN103771336A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410027619.1
申请日：2014-01-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H02N2/22 , H01L41/193 , H01L41/45 , H02N2/18 , H02N2/181 , H02N2/186 , Y10T29/42 , Y10T29/49124 , Y10T29/49153
Abstract: 一种基于压电聚合物微结构阵列的俘能器制造方法，先在导电基材上制备压电聚合物微柱阵列，然后使用另一块平板电极作为上电极，与基材形成一对平行平板电极，并在电极间施加直流电压，当加热基材至压电聚合物的玻璃态转换温度以上时，受电场力诱导作用，微柱阵列重新流变直至接触上电极形成具有蘑菇状顶部的大深宽比微柱阵列，在电场诱导流变的过程中，压电聚合物微结构化的同时其内部分子沿电场方向取向，获得具有强压电效应的微型俘能器，本发明得到的压电聚合物微结构阵列连接上下电极直接形成最终需要的器件，不需要复杂的工艺控制，大大降低了加工成本，提高了加工效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102320132B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201110193098.3
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: B29C67/06
Abstract: 一种电场诱导液溶胶微复型的工艺，利用光刻工艺制造出具有一定图形结构的导电模板，在其表面制备一层保护层，选择导电材料作为基材，利用有机溶剂清洗其表面，然后施加压力将处理好的导电模板紧压在基材上，导电模板的支撑部分接触基材，将导电模板与基材置于液溶胶环境中，外接直流电源，在液溶胶中产生相应的电场分布，带电的溶胶颗粒在电场作用下定向移动，进而与基材接触，失去电性沉积成型，得到成型微纳结构，最后除去多余的液溶胶，脱去导电模板，以80-160℃后烘得到的成型微纳结构，本发明能够实现与模板图形对应的微纳结构复型，可广泛应用于各种MEMS/NEMS器件的加工。
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公开(公告)号：CN103197362A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310066465.2
申请日：2013-03-01
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种类抛物面微透镜阵列的电场诱导流变成形方法，先用光刻刻蚀法进行上极板孔模具的制备及处理，再蒸镀制备透明导电ITO玻璃下极板，在上下两极板之间施加直流外电场后，把聚合物从上下极板间隙的开口处滴入，流入上下极板空隙间隙内的聚合物的液面高度和形状被电场调控，固化并脱模，得到类抛物面微凹透镜阵列，再对其复型，最终得到类抛物面微凸透镜阵列，本发明突破了常规微透镜阵列制备工艺只能制备球面透镜的限制，得到的微透镜阵列具有超光滑表面特性，优于材料去除或腐蚀法得到的透镜阵列，同时由于本发明不需要复杂的工艺控制，大大降低了加工成本，提高了加工效率，可广泛地应用在芯片实验室，平板显示器，光学系统检测及观察等多方面。
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公开(公告)号：CN102390103A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110193097.9
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种电场增强的毛细微注塑成形方法，先在硅上刻蚀出所需的图案结构，得到母模具，再将硅橡胶浇注在母模具上并用带有透明导电层的柔性塑料片压在硅橡胶上，硅橡胶固化后脱模得到柔性透明导电模具，然后将柔性导电模具放置在衬底上，柔性导电模具和衬底之间会拼合成两端通透的微/纳流道，再在拼合的流道一端滴加光固化树脂液滴，并在柔性导电模具的导电层和衬底之间施加电压，光固化树脂会向流道的另一端流动，最后待光固化树脂流动到流道的另一端后，固化光固化树脂并脱模，即可得到无留膜的微/纳图案，本发明具有增大了毛细流动的长度，减小了流动时间，提高了流动效率的优点。
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公开(公告)号：CN102320554A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110191568.2
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种纳米缝的模板对准压印制备工艺，先进行刚性衬底、柔性材料以及刚性材料三层结构的制备，然后采用模板进行对准压印，根据不同的纳米缝结构制备相应的压印模板，采用对准工艺使模板在需要产生纳米缝的位置处施加外在压力进行压印，最后利用第二平板二次对准施压，使断裂错位的薄膜材料上的纳米缝对齐，进一步减小纳米缝的间距，采用纳米缝的模板对准压印，导致柔性材料层变形，顶层刚性材料薄膜断裂，形成单个纳米缝或是纳米缝阵列，可以有效的突破常规纳米缝制备工艺中复杂的工艺流程以及昂贵的加工设备，能够低廉地制备纳米缝结构，可以广泛地应用在SED显示器以及分子器件等方面。
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