一种基于压电聚合物微结构阵列的俘能器制造方法
摘要:
一种基于压电聚合物微结构阵列的俘能器制造方法,先在导电基材上制备压电聚合物微柱阵列,然后使用另一块平板电极作为上电极,与基材形成一对平行平板电极,并在电极间施加直流电压,当加热基材至压电聚合物的玻璃态转换温度以上时,受电场力诱导作用,微柱阵列重新流变直至接触上电极形成具有蘑菇状顶部的大深宽比微柱阵列,在电场诱导流变的过程中,压电聚合物微结构化的同时其内部分子沿电场方向取向,获得具有强压电效应的微型俘能器,本发明得到的压电聚合物微结构阵列连接上下电极直接形成最终需要的器件,不需要复杂的工艺控制,大大降低了加工成本,提高了加工效率。
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