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公开(公告)号：CN104660169A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410648703.5
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03B5/32
CPC classification number: H03H9/215 , H01L41/053 , H03B5/32 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/0547 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明为振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体。本发明的课题是提供振动特性和耐冲击性这两方面都优异的振动元件，并且提供具备该振动元件的可靠性高的振子、振荡器、电子设备及移动体。振动元件(2)包括石英振动片(3)，所述石英振动片(3)具有：基部(31)；振动臂(32、33)，其从基部的一端侧延伸；连接部(34)，其配置在基部(31)的另一端侧；以及连结部(35)，其位于基部(31)和连接部(35)之间，并将它们连结起来，当设石英振动片(3)的厚度为T，基部(31)的宽度为W1，连结部(35)的宽度为W2时，满足110μm≤T≤210μm的关系，同时满足0.469≤W2/W1≤0.871。
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公开(公告)号：CN104579223A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410527752.3
申请日：2014-10-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H2009/02385
Abstract: 本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体，它们的可靠性品质高，振动特性稳定，并且具有高Q值。MEMS振子(100)具有：基板(1)；支承部(26)，其连接到基板(1)上；基部(22)，其连接到支承部(26)上；以及多个振动部(24)，其与基板(1)相离并从基部(22)向彼此不同的方向延伸，而且相邻的振动部(24)以彼此相反的相位振动，基部(22)具有振动的波节，在俯视时，支承部(26)的至少一部分与振动的波节重叠。
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公开(公告)号：CN102170275B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110045508.X
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高抗冲击特性。石英振动片(1)是对相对于石英晶轴以规定角度切出的Z板进行蚀刻成形而成的振动片，其具备：基部(10)；从基部起在Y轴方向上延伸的一对振动臂(11)；以及在X轴方向上切入基部而成的X轴正向缺口部(12)和X轴负向缺口部(13)，X轴正向缺口部形成为从X轴负侧向正侧切入基部、并且该X轴正向缺口部的宽度随着接近外周(10b)而变宽。
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公开(公告)号：CN102340291B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201110191711.8
申请日：2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02102 , H03H9/0519 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供弯曲振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高Q值。石英振动片(1)具有基部(11)和从基部延伸出来的一对振动臂(12、13)，振动臂在相对的两个主面(10a、10b)上具有沿着振动臂的长度方向形成的槽部(18)，在振动臂的与基部连接的连接部处设有如下构成的倾斜部(19)：在平面视图中，随着从振动臂接近基部，从槽部到外形的间隔变宽，槽部在位于倾斜部处的底部(18c)的至少一部分中，在从与沿着槽部的长度方向的第1侧面(18a)连接的连接部(18d)到与隔着底部(18c)与第1侧面(18a)相对的第2侧面(18b)连接的连接部(18e)的范围内，具有未形成激励电极(20、21)的无电极区域。
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公开(公告)号：CN102025342B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201010286678.2
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供耐冲击性较高的小型振动片。水晶振动片(20)具备：基部(21)；一对振动臂(22)，其从该基部(21)的一端侧分成两段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿着一条直线的相反方向上形成一对切口(41A)、(41B)，以此在该两个主面上出现被缩窄的形状。一对支承臂(30)被设置为，基部(21)中的与一对振动臂(22)的延伸方向交叉的方向上的两个端部，分别在相反的方向延伸后，在弯曲部(31)处弯曲，并与一对振动臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端侧上设置有承接部(35)，其被配置在相邻振动臂(22)的通常振动时的振幅范围之外，且在相邻振动臂(22)的位移超过通常振幅范围时与该振动臂(22)抵接的位置上。
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公开(公告)号：CN102215031B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110086238.7
申请日：2011-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
Abstract: 振动片以及振子，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有：进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。
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公开(公告)号：CN104079263A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116475.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/125 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（2）具有石英基板（3），该石英基板（3）具有：基部（4）；从基部（4）起延伸的一对振动臂（5、6）；以及支承臂（71），其在振动臂（5、6）之间，在与振动臂（5、6）相同的一侧从基部（4）起延伸。并且，振动臂（5）具有臂部（51）和设置在臂部（51）前端的锤头（59）。臂部（51）具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
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公开(公告)号：CN104079256A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116009.9
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0547 , H03B5/32 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。本发明提供一种小型且能够降低振动特性的劣化的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器以及电子设备。振动元件（2）包含：基部（4）；以及一对振动臂（5、6），它们与基部（4）一体设置，从基部（4）的前端起在Y轴方向延伸，在设振动臂（5、6）的长度为L，锤头（59、69）的长度为H时，满足0.183≤H/L≤0.597的关系，在设基本振动模式的谐振频率为ω0，与基本振动模式不同的振动模式的谐振频率为ω1时，满足（|ω0-ω1|）/ω0≥0.124的关系。
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公开(公告)号：CN104052425A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410087872.6
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1014
Abstract: 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供一种能够减小从振动片向封装的振动泄漏的振子，并且提供一种具有该振子的可靠性优异的振荡器、电子设备以及移动体。振子（1）具有：振动片（2），其包含由石英构成的石英基板（3）；以及收纳振动片（2）的封装（9），石英基板（3）包含：基部（4）；以及在石英中的X轴方向上排列并且从基部（4）朝石英中的＋Y’轴方向（或－Y’轴方向）延伸的两个振动臂（5、6），基部（4）的石英中的－Z’轴侧（在振动臂（5、6）朝－Y’轴方向延伸的情况下，为＋Z’轴侧）的主面固定于所述封装（9）。
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公开(公告)号：CN104022752A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410063348.5
申请日：2014-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2203/0118 , G01P15/097 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体，可抑制振动频率的改变和破损。MEMS振子具有：绝缘部；设置于绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成至少一部分隔着间隙与第1电极重叠，第2电极与功能部抵接，从固定部起延伸设置。
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