一种高垂直度BTO波导的制备方法
    81.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119596461A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411751682.X

    申请日:2024-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种高垂直度BTO波导的制备方法,包括步骤S1:生长Si3N4薄膜层;步骤S2:涂布光刻胶;步骤S3:刻蚀;步骤S4:浇筑BTO溶胶凝胶剂;步骤S5:退火;步骤S6:CMP;步骤S7:生长包层。本发明公开的一种高垂直度BTO波导的制备方法,通过两次刻蚀转移图案,图形转移至石英衬底,进行去胶清洗,去除晶圆表面有机物。通过定制模具将BTO溶液凝固于刻蚀出的凹槽内,通过超声将溶液填充至凹槽的每个角落。再通过CMP调整BTO的厚度与表面的平整度。生长上包层,制备出高垂直度的BTO波导,从而提高调制器性能,实现高深宽比、高绝对深度、侧壁角度垂直和侧壁光滑的钛酸钡波导结构。

    基于相位噪声功率谱分析的高分辨率相干光谱重构方法

    公开(公告)号:CN119533664A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411729821.9

    申请日:2024-11-29

    Abstract: 本发明涉及光谱分析技术领域,尤其是基于相位噪声功率谱分析的高分辨率相干光谱重构方法,包括相干光谱仪系统,所述相干光谱仪系统包括光路、光电转换和数据处理,光路部分包括线性啁啾的本振光和待测光信号,线性啁啾的本振光和待测光信号各连接一个光隔离器,两个光隔离器连通光纤耦合器;光电转换部分包括平衡光电探测器,所述平衡光探测器上游与光电耦合器连通,平衡光探测器下游与低通滤波器连通;数据处理部分包括数据采集、时域傅里叶变换、时域频谱叠加和待测信号光谱重构。本发明的相干光谱仪系统较于传统的相比结构更加简化,突破了传统相干光谱仪光谱分辨力取决于窄带滤波器频率和带宽的限制。

    用于AWG芯片的多工位的测试方法及系统

    公开(公告)号:CN119291469A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411541912.X

    申请日:2024-10-31

    Abstract: 本发明公开了用于AWG芯片的多工位的测试方法及系统,用于AWG芯片的多工位的测试方法包括步骤S1:中心控制模块设置待测AWG芯片的相关参数,进行系统初始化并测试各个工位的参考数据;步骤S2:将待测AWG芯片的表面清洁干净,然后放置在芯片对准模块中的芯片测试区域;步骤S3:各个工位开始工作;步骤S4:测试管理控制中心接收到各工位的对准信号;步骤S5:测试管理控制中心处理各个工位的测试数据,输出测试报告。本发明公开的用于AWG芯片的多工位的测试方法及系统,旨在解决现有技术的低效率、高成本、适应性不足和数据处理不及时等问题,提供一种更高效、更灵活的AWG芯片测试解决方案。

    一种基于交叉模态融合的电影推荐系统

    公开(公告)号:CN113918764B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202110827904.1

    申请日:2021-07-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 一种基于交叉模态融合的电影推荐系统,包括:输入模块,输入信息包括用户集合中每一个用户的特征信息、电影集合中每一个电影的特征信息、用户集合中每一个用户对电影集合中每一个电影的交互信息、以及电影集合中每一个电影的海报图片;预处理模块、单模态编码模块、交叉模态融合模块以及输出模块。基于深度神经网络的模型提取电影海报图片的视觉信息,丰富了推荐过程中可以使用的有用信息;另一方面,本发明基于交叉模态融合算法实现文本和视觉信息的交互和融合更好地对用户进行电影推荐,相比传统仅使用单一模态信息、没有对两个模态特征信息进行交互、以及没有区别单模态和多模态交互方式实现的推荐算法有更好的推荐效果。

    一种硅基MZI型分数阶可调光场微分器

    公开(公告)号:CN117908188A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311702097.6

    申请日:2023-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种硅基MZI型分数阶可调光场微分器,包括光分束器、光耦合器和光路反馈单元,所述光分束器的输入端连接有光输入通道,所述光分束器和所述光耦合器之间分别连接有第一光传输波导和第二光传输波导,所述第一光传输波导设有第一调制移相臂并且所述第二光传输波导设有第二调制移相臂。本发明公开的一种硅基MZI型分数阶可调光场微分器,可以监测微分器的输出信号,并根据输出信号与期望设定信号之间的差异,通过控制光调制器的相位来实现反馈调节;当输出信号与期望信号不匹配时,反馈回路会自动调节光调制器的相位,使得输出信号逐渐接近期望信号,从而优化微分操作的效果。

    垂直腔面发射半导体激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN117895328A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311573715.1

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 本发明公开了垂直腔面发射半导体激光器及其制作方法,垂直腔面发射半导体激光器,包括在垂直方向从下向上依次设置的衬底、N侧接触层、N型DBR、有源区、氧化层区域、P型DBR和P侧接触层,所述P侧接触层位于所述P型DBR的两侧并且设置在所述氧化层区域的上侧,所述P型DBR经刻蚀后形成脊形区域并且脊形区域的宽度不大于氧化孔径的宽度,所述P型DBR内的掺杂浓度从下至上逐渐减小。本发明公开的垂直腔面发射半导体激光器及其制作方法,其可以在出光口附近调控侧向光场,且该结构能够减小串联电阻和光子的损耗,最终达到提高出光功率、提升电光转换效率以及抑制侧向高阶模式的目的。

    一种光波导芯片自动上料测试装置及上料方法

    公开(公告)号:CN117890083A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311715945.7

    申请日:2023-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种光波导芯片自动上料测试装置,包括底部水平板,所述底部水平板的下方安装有前后移动机构,前后移动机构处于底部水平板下方地面上成型且前后延伸的安装凹槽中,前后移动机构的移动块顶面固定在底部水平板的底面上;它可以实现上料架上的光波导芯片自动放置到金属测试台的顶面进行自动检测并可以将金属测试台检测好的光波导芯片自动下料放置到下料架上,其可以实现连续上料检测和下料,大大提高自动化连接检测效果,提高检测效率,降低人工劳动量。

    一种基于中字形行波电极结构的薄膜铌酸锂光调制器

    公开(公告)号:CN117850074A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311625375.2

    申请日:2023-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于中字形行波电极结构的薄膜铌酸锂光调制器,包括衬底、氧化硅层和铌酸锂薄膜,所述氧化硅层位于所述衬底的一侧并且所述铌酸锂薄膜位于所述氧化硅层远离所述衬底的一侧,所述铌酸锂薄膜设有若干凸出的脊形波导结构;所述脊形波导结构包括第一调制臂和第二调制臂,所述第一调制臂和所述第二调制臂远离所述氧化硅层的一侧设置有氧化硅上盖层;所述氧化硅上盖层远离所述铌酸锂薄膜的一侧设置有GSG行波电极和若干中字形金属电极。本发明公开的一种基于中字形行波电极结构的薄膜铌酸锂光调制器,克服上述技术的缺陷,使其具有更多的可调参数,更大的设计优化空间。

    一种基于上下层行波电极铌酸锂薄膜调制器

    公开(公告)号:CN117850073A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311625372.9

    申请日:2023-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于上下层行波电极铌酸锂薄膜调制器,包括衬底、氧化硅层和铌酸锂薄膜,所述氧化硅层位于所述衬底的一侧并且所述铌酸锂薄膜位于所述氧化硅层远离所述衬底的一侧,所述铌酸锂薄膜设有若干凸出的脊形波导结构;所述脊形波导结构包括第一调制臂和第二调制臂,所述第一调制臂和所述第二调制臂远离所述氧化硅层的一侧设置有氧化硅上盖层;所述氧化硅上盖层远离所述铌酸锂薄膜的一侧设置有GSG行波电极和若干上下层电极。本发明公开的一种基于上下层行波电极铌酸锂薄膜调制器,可以有效解决阻抗不匹配、电信号反射较大、微波损耗大等问题,提高调制器带宽。

    一种高精度的光纤耦合平行对准方法

    公开(公告)号:CN117741871A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311730332.0

    申请日:2023-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种高精度的光纤耦合平行对准方法,通过自动光纤耦合平行对准设备实现,包括步骤S1:将输出光纤固定安装于位于第一电动调节支架的第一光纤夹具并且将接收光纤固定安装于位于第二电动调节支架的第二光纤夹具,以使得输出光纤的底面和侧面分别与第一光纤夹具的底面接触面和侧面接触面完全接触且平行。本发明公开的一种高精度的光纤耦合平行对准方法,其取缔手动调平对准,提高自动化效率及调平质量,以解决现有的手动高精度调平架的精度和效率问题;并且避免端面多次摩擦,提高耦合效率,以解决自动光纤调平架的端面摩擦问题。

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