公开(公告)号：CN102004125B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201010258234.8

申请日：2010-08-18

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 松本昌大 ,  中野洋 ,  半泽惠二 ,  山田雅通

IPC: G01N27/18

CPC classification number: G01N27/18

Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1)，在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部)，在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且，基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此，缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。

公开(公告)号：CN102620781A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210019301.X

申请日：2012-01-20

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 浅野哲 ,  松本昌大 ,  中野洋 ,  半泽惠二

IPC: G01F1/698 ,  G01F1/69

CPC classification number: G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  G01F1/698

Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制，具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有：半导体基板；在半导体基板设置的空洞部；在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜；由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域；在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体；设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体；基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元；设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体；和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元，发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度，控制发热电阻体的温度。