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公开(公告)号：CN101820262A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200910221924.3
申请日：2009-11-23
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/0222 , H03H9/25 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供声波装置及其制作方法、双工器、通讯模块、通讯设备。一种声波装置，其包括压电衬底、布置在压电衬底上的交叉指型电极、安置在交叉指型电极之间的第一电介质元件、覆盖交叉指型电极和第一电介质元件的第二电介质元件以及形成在第一电介质元件上的调整元件。调整元件由比重大于第一电介质元件的比重和第二电介质元件的比重的材料形成。
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公开(公告)号：CN110048691B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201811494251.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 声波谐振器、滤波器和复用器。一种声波谐振器，该声波谐振器包括：压电基板；以及IDT，其位于压电基板上并且包括彼此面对的梳形电极，梳形电极中的每个梳形电极具有栅状电极以及连接到栅状电极的汇流条，在栅状电极的排布方向上，在交叠区域的中心区域中的梳形电极的栅状电极的占空比与在交叠区域的边缘区域中的梳形电极的栅状电极的占空比不同，梳形电极中的每个的栅状电极与另一个梳形电极的栅状电极在交叠区域中交叠，中心区域中的梳形电极的第一梳形电极的栅状电极的宽度与中心区域中的梳形电极的第二梳形电极的栅状电极的宽度不同。
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公开(公告)号：CN111199820B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201911139487.0
申请日：2019-11-20
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 一种电感器包括：基板；第一布线，位于基板上；第二布线，位于第一布线上方并通过气隙与第一布线间隔开，在平面图中第二布线的至少一部分与第一布线的至少一部分重叠；第一支承柱，连接第一布线和第二布线的端部，使得直流电通过第一支承柱在第一布线和第二布线之间传导；和第二支承柱，设置成使得在平面图中第二支承柱与第二布线重叠，并且在平面图中与第一布线重叠或者在平面图中被第一布线包围，第二支承柱与第一布线绝缘，第二支承柱支承第二布线。
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公开(公告)号：CN110048691A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201811494251.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 声波谐振器、滤波器和复用器。一种声波谐振器，该声波谐振器包括：压电基板；以及IDT，其位于压电基板上并且包括彼此面对的梳形电极，梳形电极中的每个梳形电极具有栅状电极以及连接到栅状电极的汇流条，在栅状电极的排布方向上，在交叠区域的中心区域中的梳形电极的栅状电极的占空比与在交叠区域的边缘区域中的梳形电极的栅状电极的占空比不同，梳形电极中的每个的栅状电极与另一个梳形电极的栅状电极在交叠区域中交叠，中心区域中的梳形电极的第一梳形电极的栅状电极的宽度与中心区域中的梳形电极的第二梳形电极的栅状电极的宽度不同。
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公开(公告)号：CN1543063B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200410037580.8
申请日：2004-04-28
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0038 , H03H9/0576 , H03H9/6483 , H03H9/72
Abstract: 一种双工器，其包括形成在一个基板上的两个表面声波滤波器，所述两个表面声波滤波器中的至少一个为梯型滤波器。在该双工器中，在形成所述梯型滤波器中的多个串联支路谐振器的多个梳状电极中，每两个相邻梳状电极沿表面声波传播方向的中心之间的位置差异等于或小于每两个相邻梳状电极中的具有较多对电极指的梳状电极沿所述传播方向的长度的四分之一。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101847980A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200910261121.0
申请日：2009-12-28
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/0222 , H03H9/02929
Abstract: 本发明提供了一种声波装置及其制作方法。一种制作声波装置的方法包括：在压电衬底上形成具有多个电极指的交叉指型电极；形成阻挡膜，以使其覆盖交叉指型电极；在阻挡膜上形成介质；测量由交叉指型电极激发的声波装置的频率特性；以及在声波装置由交叉指型电极激发的激发区域中，通过使阻挡层图案化或者进一步设置调整膜，来形成与其他部分具有不同厚度的调整区域。当形成调整区域时，依照所测量的频率特性来调整激发区域中的调整区域的面积T。
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公开(公告)号：CN101796727A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200780100263.8
申请日：2007-08-14
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6433
Abstract: 本发明的弹性边界波装置包括多个弹性边界波元件，所述弹性边界波装置的特征在于，所述弹性边界波元件包括：压电材料层；电极，所述电极配置在所述压电材料层之上；第一电介质层，所述第一电介质层以覆盖所述电极的方式形成在所述压电材料层之上；以及第二电介质层，所述第二电介质层形成在所述第一电介质层之上；所述第二电介质层的声速比所述第一电介质层的声速快，所述多个弹性边界波元件中的至少一个弹性边界波元件的第二电介质层的声速不同于其他弹性边界波元件的第二电介质层的声速。由此，能够改善弹性边界波装置的作为滤波器的抑制度。
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公开(公告)号：CN101796723A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200780100414.X
申请日：2007-10-30
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/02937 , H03H9/02984 , H03H9/02992 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明的弹性波元件包括：谐振器(2)，所述谐振器包括激发弹性波的电极；供电布线部(3)，被配置为与谐振器(2)电连接；压电衬底(4)，在表面上形成谐振器(2)和供电布线部(3)；第二介质(5)，被形成为在压电衬底(4)上覆盖谐振器(2)；以及第三介质(6)，被形成为在压电衬底(4)上至少覆盖第二介质(5)和供电布线部(3)；在供电布线部(3)中，由与压电衬底(4)的表面相接的侧面(34)、压电衬底(4)的表面(4a)构成的第一角度(θ)形成为钝角。通过上述的结构，能够实现不形成腐蚀并且供电布线部中的电阻抗低的、可靠性优良的弹性波元件。
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公开(公告)号：CN113411070A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110276305.5
申请日：2021-03-15
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 弹性波器件和滤波器，能够调整机电耦合系数。弹性波器件具有：压电层(14)；一对电极，其夹着压电层(14)，在压电层(14)激励出厚度剪切振动；以及附加膜(26a、26b)，其具有比一对电极中的至少一方的密度小的密度，设置于所述一对电极夹着压电层(14)的至少一部分而重叠的谐振区域(50)中的如下部位中的至少一个部位：所述一对电极的至少一个电极与压电层(14)之间、一对电极的至少一个电极内、以及一对电极的至少一个电极的与压电层(14)相反一侧。
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公开(公告)号：CN107547060B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201710499132.7
申请日：2017-06-27
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 制造声波装置的方法和声波装置。一种声波装置制造方法包括以下步骤：在压电基板上形成梳状电极和联接到梳状电极的布线层；在压电基板上形成第一电介质膜，该第一电介质膜具有比梳状电极和布线层的厚度大的膜厚度，并且覆盖梳状电极和布线层，并且由掺杂有其他元素的氧化硅或未经掺杂的氧化硅形成；在第一电介质膜上形成第二电介质膜，该第二电介质膜在布线层上方具有开口；通过使用蚀刻液的湿法蚀刻去除由第二电介质膜的开口露出的第一电介质膜，该蚀刻液使得第二电介质膜的蚀刻速率小于第一电介质膜的蚀刻速率，使得第一电介质膜残存以覆盖布线层的端面和梳状电极。
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