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公开(公告)号：CN108359949A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810134015.5
申请日：2018-02-09
Applicant: 大连理工大学 , 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司 , 青岛蓝光晶科新材料有限公司
IPC: C23C14/35 , C30B29/06 , C30B28/06 , C01B33/037
Abstract: 本发明涉及溅射镀膜领域，具体涉及一种高纯多晶硅溅射靶材及其制备方法和应用。包括以下步骤：(1)装入硅料；(2)熔化阶段；(3)长晶过程；(4)减小热应力；(6)降温阶段。本发明选用多晶硅铸锭/提纯过程中产生的尾料作为原料，通过电子束熔炼耦合定向凝固将纯度较低的多晶硅原料提纯获得高纯多晶硅料，通过向硅中添加铝硼合金控制硅靶材的电阻率，通过籽晶诱导定向凝固工艺保证晶粒取向和均匀性，通过凝固工艺调整抑制晶体缺陷的形成。该方法制得的产品出成率能够达到80％左右，且具有成本低、纯度高、结晶取向一致、晶体缺陷少、电阻率可控的优点。
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公开(公告)号：CN107219214A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710616070.3
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: G01N21/718 , G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置。本装置使用激光诱导击穿光谱结合一种二级引出场飞行时间质谱(TOF)的定量分析结构与方法。实现高探测灵敏度、实时、快速、高精度、无接触式、多元素同时检出且样品无需预处理的定量分析装置。其中该装置中的双波长激光，便于再次电离光碎片及分子团簇，提高质谱信号稳定性，增强激光等离子体发射光谱信号；该装置中二级引出场，便于提高TOF质谱分辨率以及优化信号；该装置中的光谱收集系统，可以提高收集等离子体发射光耦合到光纤的能力，并且可以折叠光路，极其有利于仪器集成化，小型化，便于仪器商品化。
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公开(公告)号：CN103318894B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310262432.5
申请日：2013-06-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: C01B33/037
Abstract: 本发明提供一种去除多晶硅中硼的方法，包括以下步骤：向待提纯硅料中添加金属，制成混合料；将混合料加热至熔融态成为改性的硅液，向改性的硅液中加入SiO2-CaO-X渣剂进行造渣熔炼提纯；熔炼提纯后，倾倒分离渣和硅液，将所述硅液冷却后得到硼含量较低的多晶硅；其中，所述金属为Ti、Sn、Al、Fe、Cu和Mn中一种或多种；所述SiO2-CaO-X渣剂中X为Na2SiO3、Na2CO3、Al2O3、Li2O、BaO、TiO2和CaF2中的一种。本发明步骤科学、合理，克服了现有技术的诸多缺点，采用该方法制备的多晶硅中硼含量符合太阳能级多晶硅的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102218415B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201110056878.3
申请日：2011-03-10
Applicant: 大连理工大学
IPC: B08B7/00
Abstract: 本发明公开了一种真空紫外激光清洗托卡马克第一镜的方法及装置。采用激光消融的方法清除第一镜上的尘埃杂质沉积层，通过控制激光器的输出能量，使作用于第一镜样品表面的准分子激光束的能量密度处于杂质沉积层的清洗阈值与第一镜表面金属的损伤阈值之间，清除杂质的同时不会伤到第一镜表面金属材料。本发明的真空紫外激光清洗第一镜的方法及装置采用波长为193nm的激光与材料相互作用过程中烧蚀效应小，表面均匀性好，尘埃清洗的干净，效果理想。
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公开(公告)号：CN103318894A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310262432.5
申请日：2013-06-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: C01B33/037
Abstract: 本发明提供一种去除多晶硅中硼的方法，包括以下步骤：向待提纯硅料中添加金属，制成混合料；将混合料加热至熔融态成为改性的硅液，向改性的硅液中加入SiO2-CaO-X渣剂进行造渣熔炼提纯；熔炼提纯后，倾倒分离渣和硅液，将所述硅液冷却后得到硼含量较低的多晶硅；其中，所述金属为Ti、Sn、Al、Fe、Cu和Mn中一种或多种；所述SiO2-CaO-X渣剂中X为Na2SiO3、Na2CO3、Al2O3、Li2O、BaO、TiO2和CaF2中的一种。本发明步骤科学、合理，克服了现有技术的诸多缺点，采用该方法制备的多晶硅中硼含量符合太阳能级多晶硅的要求。
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公开(公告)号：CN102221293B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110152133.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于制备涂层的技术领域。一种熔炼坩埚用涂层的制备方法，首先对熔炼坩埚进行烘制预处理，然后采用PVP无水乙醇溶液与氮化硅配置悬浊液，将悬浊液均匀喷涂于熔炼坩埚内壁，最后将喷好涂层的熔炼坩埚进行预烧处理，即可在熔炼坩埚内壁得到一层厚度均匀、结构致密的氮化硅涂层。本发明的显著效果是在喷涂前对熔炼坩埚进行烘制预处理及清洗处理，有利于涂层的粘连，涂层悬浊液加入PVP无水乙醇溶液，烘制后无水乙醇蒸发，粘结剂PVP将涂层粘连到坩埚内壁上，涂层的粘连性较大，防止坩埚与熔体的反应粘连，实现铸锭的顺利脱模，同时防止杂质进入熔液，实现熔体的提纯效果，满足了铸造过程中涂层的使用要求。
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公开(公告)号：CN102296562A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201010211880.9
申请日：2010-06-25
Applicant: 华东电网有限公司 , 大连理工大学 , 上海华东电集实业有限公司 , 上海华东电集能源科技有限公司
IPC: E02B3/00
CPC classification number: Y02A10/12
Abstract: 本发明公开了防洪与发电相耦合的梯级水库联合洪水调度优化方法，能够在洪水调度中协调防洪与发电目标，针对不同标准洪水，采用相应模型，适时发电预泄和关闸错峰，减少汛期无益弃水，以最大限度实现梯级水库防洪、发电效益。其技术方案为：根据实时水情气象信息和洪水预报结果判断洪水大小级别，当洪水期间平均入库流量大于电站满发流量时则判断为大洪水，反之则判断为小洪水；按照级别的不同通过不同的模型进行不同控制目标的优化调度；在每个不同流量、约束设置和控制目标下，得到多个不同的调洪方案，构成对应一场洪水的调洪方案集，作为决策基础，如果在调洪方案集中需要对入库流量进行修改，则反复进行多种入库条件下的仿真调洪计算。
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公开(公告)号：CN207396353U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201720911911.9
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置。本装置使用激光诱导击穿光谱结合一种二级引出场飞行时间质谱(TOF)的定量分析结构与方法。实现高探测灵敏度、实时、快速、高精度、无接触式、多元素同时检出且样品无需预处理的定量分析装置。其中该装置中的双波长激光，便于再次电离光碎片及分子团簇，提高质谱信号稳定性，增强激光等离子体发射光谱信号；该装置中二级引出场，便于提高TOF质谱分辨率以及优化信号；该装置中的光谱收集系统，可以提高收集等离子体发射光耦合到光纤的能力，并且可以折叠光路，极其有利于仪器集成化、小型化，便于仪器商品化。
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