一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置

    公开(公告)号:CN105091780A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201510255808.9

    申请日:2015-05-19

    Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置,由半导体激光器、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、CCD相机、铝合金面包板、激光器电源和笔记本电脑组成,半导体激光器输出的激光束通过线性衰减片后经过小孔光阑,小孔光阑对激光束进行滤波,被调制的激光束作为入射光照射到被测工件表面,在被测工件表面发生衍射现象,产生衍射光斑,透镜将激光束各级衍射光斑调整为平行光束,利用CCD相机对激光束各级衍射光斑进行测量并将测量结果传输到笔记本电脑中,通过图像采集软件对衍射光斑图像进行采集。本装置光路系统调整方便,对测量环境要求不严格,具有一定的便携性。

    大气等离子体加工装置
    82.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103237402B

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201310177047.0

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 大气等离子体加工装置,它属于等离子体加工设备的技术领域。它是为了解决现有五轴机床不能满足大气等离子体加工响应速度快、一体化等离子体发生装置装夹、屏蔽外界电磁干扰、工作舱密闭性需求的问题。它的壳体罩在底座的上端面上,并联机构采用3-PRS型并联机构,并联机构的上端面都连接在壳体的上端内表面上,并联机构的下侧活动端分别与三角平台的三个角连接,等离子体发生装置设置在三角平台的中部上,水平运动工作平台的下端面与底座上端面的中部连接,水平运动工作平台的上端面用于装夹待加工工件。本发明解决了普通五轴机床响应速度慢、一体化等离子体发生装置装夹不便,不能满足大气等离子体加工需求的问题。

    一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置

    公开(公告)号:CN104977101A

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201510389565.8

    申请日:2015-07-06

    Abstract: 一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置,它属于精密测量的技术领域。它的测量杆的上部外圆面上开有用于与被测游丝卡接的环槽;测量杆的下端与十字梁中心上面垂直连接,使十字梁的四根粱的外端头分别与方框形测量杆支架的四个角连接,四块反光镜分别设置在十字梁的四根梁的下面上;四分半导体激光器设置在基座中心立柱的上端面上,四个二维PSD位置传感器分别设置在基座的四个角上的四根立柱的上端面上;使四分半导体激光器发射的四束激光束分别通过四块反光镜反射后,分别反射到四个二维PSD位置传感器的检测窗口上。本发明利用测量杆和十字梁进行力到微位移的转换,再利用光杠杆放大原理,采用二维PSD进行位置测量,最终检测到了测量杆处的二维受力。

    基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置

    公开(公告)号:CN104923469A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510248321.8

    申请日:2015-05-16

    Abstract: 基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置,它属于能量辅助机械加工的技术领域。它是为了解决现有高精度惯导传感器中薄壁微构件加工时,所用的谐振式振动装置存在振动频率不可调、加工工件刀纹不均匀、不整齐,及现有的非谐振式振动装置存在陶瓷工作时间长的情况下压电特性就会减弱、振动不明显的问题。它的第一导电电极片与第二导电电极片之间夹有第一组压电陶瓷剪切片,第二导电电极片与第三导电电极片之间夹有第二组压电陶瓷剪切片,第三导电电极片与第四导电电极片之间夹有第三组压电陶瓷剪切片,第四导电电极片与第五导电电极片之间夹有第四组压电陶瓷剪切片。本发明利用压电陶瓷剪切片不同摆放方向和施加不同电场方向实现二维振动。

    一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置

    公开(公告)号:CN104916519A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510389614.8

    申请日:2015-07-06

    Abstract: 一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置,本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬都安装在双炬连接组件上;加工电感耦合等离子体炬通入的工作气体为含氟气体,具有去除效果;火抛光电感耦合等离子体炬通入的气体为不含氟气体,无去除效果;使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧。本发明在对光学镜片加工时,使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理,不会产生波纹度误差,部分修复微裂纹,进而使用大气等离子体加工,避免了等离子体加工损伤打开的效果,实现了高质量的光学加工。

    一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具

    公开(公告)号:CN104907889A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510389563.9

    申请日:2015-07-06

    CPC classification number: B23Q17/00 B23Q17/24

    Abstract: 一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具,它属于精密测量的技术领域。它的挠性主轴座由上侧固定板通过多根挠性立柱与下侧固定轴板连接组成,被检测轴受到外力时,因多根挠性立柱刚性值低,被检测轴能带动固定轴板摆动,同时也带动挠性主轴座右侧挠性立柱的右端面上随动反射平面镜摆动;随动反射平面镜的反光面与固定反射平面镜的反光面互相平行相对,半导体激光器发射的激光经过随动反射平面镜的反光面和固定反射平面镜的反光面的多次反射后,入射到一维PSD位置传感器的感光窗口内。本发明利用柔性铰链主轴座进行力到微位移的转换,再利用光杠杆放大原理,采用PSD进行位置测量,最终检测到了主轴受力,实现了力反馈。

    一种基于PLC的ICP等离子体加工机床状态实时监测方法

    公开(公告)号:CN104750024A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510159426.6

    申请日:2015-04-07

    CPC classification number: G05B19/406

    Abstract: 一种基于PLC的ICP等离子体加工机床状态实时监测方法,属于机床状态监测领域。本发明通过在机床内部加入相应的传感器,并使用PLC进行采集信号,在工控机中进行显示和存储信号,达到机床状态信息实时监测的目的。本发明所述的方法可以对机床的加工时的气体流量、工件温度、气腔压力等进行实时监测并且显示在工控机屏幕中,方便人员进行操作和观察;通过光电二极管可以有效的判断机床加工中等离子反应炬是否发生故障以及故障发生时加工位置的坐标,提高了安全性,并且方便机床故障重启后加工起始点的确定;可以将所有采集的数据利用工控机进行存储,方便于加工后的数据处理和对比分析。

    微构件拉伸测试装置
    88.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104007028A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410271032.5

    申请日:2014-06-18

    Abstract: 微构件拉伸测试装置,涉及一种微构件力学性能测试装置。本发明可实现对微米尺度构件的力学性能静态参量测量及疲劳特性的探究。两根导轨固定在L形底座上;精密驱动单元固定在右载物平台上,动载物台与精密驱动单元固接,静、动载物台上有一用于固定微构件的定位槽,静载物台与微力传感器固接,微力传感器与力传感器固定块固接,力传感器固定块与左载物平台固接,光栅尺安装在精密驱动单元前侧或后侧面上,右载物平台上固定有读数头安装架,度数头固定在读数头安装架上;右载物平台与丝杠螺母副的丝杠螺母固接,右载物平台通过四个右滑块与两根导轨滑动连接,步进电机驱动丝杠螺母副运动,左载物平台相对导轨固定不动。本发明用于微构件力学性能测试。

    大面积大气等离子体均匀放电电极

    公开(公告)号:CN103269556A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310177068.2

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 大面积大气等离子体均匀放电电极,本发明属于光学加工领域。它是为了解决现有大面积大气等离子体放电产生的交变电流在趋近电极边缘处有电流密度增大的趋肤效应,导致大面积电极放电不均匀,而严重影响了大气等离子体加工技术的精度和效率的问题。它的形状为扁片形;其放电面上设置有多个凸起形微电极,所有凸起形微电极的形状尺寸相同,所有凸起形微电极与相邻凸起形微电极的相互之间的距离都相等,所有凸起形微电极的放电表面都与其相对的被加工面的距离相等。本发明能实现大气等离子体大面积均匀放电,避免了大气环境下连续表面电极激发等离子体因趋肤效应和边缘放电效应导致放电不均匀现象,从而有效提高大气等离子体加工精度和效率。

    大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置

    公开(公告)号:CN103258708A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201310177052.1

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置,它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的等离子体成形电极的上端面绝缘连接在五轴联动机床的竖直运动工作轴上,将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上,将五轴联动机床设置在密闭工作舱中,等离子体成形电极的下端面成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件期望的微结构面型相补偿的微结构,对零件直接进行成形加工;使等离子体成形电极靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面,并使它们之间保持一定的放电间隙。本发明能对微结构类零件表面进行加工,如碳化硅类密封环,加工效率高,精度高。

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