一种生长氢化Ga-Ti共掺ZnO-TCO薄膜及应用

    公开(公告)号:CN102199755A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN201110106722.1

    申请日:2011-04-27

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种生长氢化Ga-Ti共掺ZnO-TCO薄膜,利用磁控溅射镀膜技术制备,具体方法是:用陶瓷靶ZnO:Ga2O3/TiO2作为靶材原料,基片为玻璃衬底,溅射气体为Ar气,溅射过程中引入氢气,薄膜厚度为700-2500nm;将生长获得的GTZO/H薄膜通过稀释HCl溶液腐蚀,制得具有良好光散射特性的绒面结构的氢化Ga-Ti共掺ZnO-TCO薄膜。本发明的优点:该制备方法是在维持一定载流子浓度的前提下,有效降低了了掺杂剂含量,从而降低杂质散射等影响;该薄膜应用于微晶硅薄膜电池或非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池,可提高光散射作用,增加入射光程,有效降低有源层厚度,提高Si基薄膜太阳电池的效率和稳定性。

    一种提高单室沉积硅基太阳电池用窗口层材料性能的方法

    公开(公告)号:CN101697363B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN200910071050.8

    申请日:2009-10-30

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种提高单室沉积硅基太阳电池用窗口层材料性能的方法,制备单室沉积硅基薄膜太阳电池的窗口层材料采用高频率、高气压、高功率密度和小电极间距相结合的工艺,该方法既适用于单结、双结或三结叠层微晶硅基或纳米硅基薄膜太阳电池,也适用于分室微晶硅基薄膜太阳电池的沉积。本发明的有益效果是:该方法工艺简单、成本低、交叉污染低、实用性强,利用快速成核工艺制备的窗口 层材料同时具有高电导率和高透过率,明显提高了硅基薄膜太阳电池的开路电压和短路电流密度,进而提高硅基薄膜太阳电池的光电转换效率,特别是对单室沉积微晶硅基(纳米硅基)薄膜太阳电池的产业化具有非常重要的意义。

    检测上转换材料对太阳电池短路电流密度提高效果的装置

    公开(公告)号:CN101576602B

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN200910069331.X

    申请日:2009-06-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明公开了一种检测上转换材料对太阳电池短路电流密度提高效果的装置,包括有工作暗室(10),该工作暗室(10)里水平放置有近红外光源(20),所述近红外光源(20)的右边纵向设置有太阳电池(30),所述太阳电池(30)位于所述近红外光源(20)右端发射孔相对应的位置,所述太阳电池(30)的两极与工作暗室(10)外部的电流表(40)相连,所述太阳电池(30)上设置有上转换材料(50)。本发明提供的装置可以通过检测不同的上转换材料对太阳电池短路电流密度的提高效果,实现对不同上转换材料的光转换效果的验证,获知不同上转换材料对太阳电池效率的提高效果,从而促进上转换材料制备技术的发展以及在太阳电池中的应用。

    一种提高单室沉积硅基太阳电池用窗口层材料性能的方法

    公开(公告)号:CN101697363A

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200910071050.8

    申请日:2009-10-30

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种提高单室沉积硅基太阳电池用窗口层材料性能的方法,制备单室沉积硅基薄膜太阳电池的窗口层材料采用高频率、高气压、高功率密度和小电极间距相结合的工艺,该方法既适用于单结、双结或三结叠层微晶硅基或纳米硅基薄膜太阳电池,也适用于分室微晶硅基薄膜太阳电池的沉积。本发明的有益效果是:该方法工艺简单、成本低、交叉污染低、实用性强,利用快速成核工艺制备的窗口层材料同时具有高电导率和高透过率,明显提高了硅基薄膜太阳电池的开路电压和短路电流密度,进而提高硅基薄膜太阳电池的光电转换效率,特别是对单室沉积微晶硅基(纳米硅基)薄膜太阳电池的产业化具有非常重要的意义。

    检测上转换材料对太阳电池短路电流密度提高效果的装置

    公开(公告)号:CN101576602A

    公开(公告)日:2009-11-11

    申请号:CN200910069331.X

    申请日:2009-06-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明公开了一种检测上转换材料对太阳电池短路电流密度提高效果的装置,包括有工作暗室(10),该工作暗室(10)里水平放置有近红外光源(20),所述近红外光源(20)的右边纵向设置有太阳电池(30),所述太阳电池(30)位于所述近红外光源(20)右端发射孔相对应的位置,所述太阳电池(30)的两极与工作暗室(10)外部的电流表(40)相连,所述太阳电池(30)上设置有上转换材料(50)。本发明提供的装置可以通过检测不同的上转换材料对太阳电池短路电流密度的提高效果,实现对不同上转换材料的光转换效果的验证,获知不同上转换材料对太阳电池效率的提高效果,从而促进上转换材料制备技术的发展以及在太阳电池中的应用。

    一种改善高速沉积微晶硅材料中非晶孵化层的方法

    公开(公告)号:CN101550544A

    公开(公告)日:2009-10-07

    申请号:CN200910068786.X

    申请日:2009-05-11

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种改善高速沉积微晶硅材料中非晶孵化层的方法,公开了一种改善高速沉积本征微晶硅薄膜中起始非晶孵化层的方法:将衬底放在真空室内,采用等离子体增强化学气相沉积或者热丝化学气相沉积技术在衬底上沉积高速率本征微晶硅薄膜;采用改变沉积过程中加热温度的办法来改变反应前驱物在衬底表面的迁移能力,进而来改变高速率材料初期的非晶孵化层。本发明有益效果是:通过改变沉积高速率微晶硅材料时的加热温度,而达到对反应前驱物在衬底表面迁移时间的控制,进而达到改善材料非晶硅孵化层厚度的效果。

    可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极

    公开(公告)号:CN100519836C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200710150228.9

    申请日:2007-11-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明公开了一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极。它的功率电极板在功率馈入端口附近设有对应的附加电极片,所述附加电极片平行于功率电极板水平面,所述附加电极片的厚度小于功率电极板,所述附加电极片连接在功率电极板的功率电极面的边缘。本发明的异形功率电极可以在任意激发频率和任意面积大小的PECVD反应室中采用。这种异形功率电极利用电极功率馈入端口的附加电极改变电极表面电流分布,可以抑制电极馈入端口附近电势的对数奇点效应。

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