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公开(公告)号：CN112645274B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202011467858.0
申请日：2020-12-14
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台，包括引线电极、衬底、两种或多种材料层结构的电热驱动臂、可动结构、衬底端连接结构和可动端连接结构；所述电热驱动臂的一端通过衬底端连接结构连接到衬底，另一端通过所述可动端连接结构连接到所述可动结构；所述衬底端连接结构和/或所述可动端连接结构为柔性连接结构；所述柔性连接结构主要由有机聚合物材料构成；所述电热驱动臂中包含内置电阻；所述衬底端连接结构包含导电引线，将所述内置电阻与所述衬底上的引线电极相连；所述可动结构可以是一个微平台、一个透镜、一个反射镜面、一个框架等。本发明能够显著提高电热MEMS微动平台的抗冲击能力。
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公开(公告)号：CN112859047B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202110040233.4
申请日：2021-01-13
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片；滤光片驱动器，用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上；光电探测器，用于对滤光片过滤后的回波进行接收，且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN116186462A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310202077.6
申请日：2023-03-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种基于气流量传感器的呼吸频率检测方法及其应用，属于传感检测技术领域。本发明实现方法为：①对呼吸波的曲线进行定积分；②从起始扫描点开始，按顺序扫描采样点，找到距离起始点最近的点作为扫描的终点，而且所述点优先满足于处在或接近于呼吸波的零点处；③根据坐标轴中t轴附近噪声的振幅情况，加入过滤条件：利用上限阈值以及下限阈值，使得落入阈值范围内的信号当作0处理；④划分出呼吸周期后，基于某段时间内呼吸周期的个数，即能够计算此段时间的呼吸平均频率。本发明基于气流量传感器实现呼吸频率检测，且能够进一步实现对呼吸波的周期划分和频率提取。本发明具有检测准确率高和时间复杂度低的优点。
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公开(公告)号：CN113932908B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202111150366.3
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请公开了一种MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法，该测量系统包括：准直光源，用于向MEMS扫描振镜的背面以相同方向入射准直光，预设翻转角度的MEMS扫描振镜平行于准直光入射方向且与准直光源有恒定间距；借助光栅结构构成的多个不同反光区，多个反光区分布在MEMS扫描振镜的背面，不同的反光区各自在MEMS扫描振镜的一个翻转角度上接收准直光的照射并向固定位置出射回波；光电探测器，用于在固定位置接收回波并转换回波为电信号；信号处理器，连接光电探测器，用于基于电信号确定振动参数。本申请简化了振动参数测量系统的结构。
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公开(公告)号：CN114217089B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202111252085.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本公开的MEMS全方位流体矢量流速传感器，包括：衬底、可动检测装置和固定检测装置，衬底用于承载所述可动检测装置和固定检测装置；可动检测装置结构包括Bimorph驱动臂和中央承载平台，Bimorph驱动臂用于连接衬底和支撑所述中央承载平台；所述中央承载平台上具有检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速；固定检测装置位于所述衬底上，包括检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速。可实现全方位流体流向的测定与流速的测量，具有体积小、功耗低、寿命长、性能优良、可批量生产和成本低等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115629471A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211237821.8
申请日：2022-10-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种具有位置检测结构的MEMS电热微镜器件及检测方法，所述电热微镜器件包括：衬底(1)、四个位置检测结构(2)、Bimorph驱动臂(4)、镜面热源(3)、镜面(5)、以及热隔离结构(6)；所述镜面(5)位于所述衬底表面上方的中心位置，所述镜面(5)与镜面热源(3)之间配置有所述热隔离结构(6)；所述位置检测结构(2)均位于衬底(1)的表面上方，所述位置检测结构(2)包括衬底热源(2‑1)及多个热敏电阻(2‑2)；位置检测结构(2)内的至少两个热敏电阻(2‑2)分别外接电桥电路；Bimorph驱动臂(4)包括Bimorph结构(4‑1)及驱动臂(4‑2)。
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公开(公告)号：CN115604635A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211283609.5
申请日：2022-10-20
Applicant: 北京理工大学(CN)
Abstract: 本发明公开的大声阻活塞运动式扬声器，属于声电转换领域。本发明包括基底010、驱动组件020、振膜030、连接组件040、振动腔体050。所述连接组件040与振膜030不共面，即为隐藏式连接结构。所述驱动组件020用于驱动振膜030产生活塞式运动。所述振膜030位于腔体050内部，振膜030沿垂直方向的位移范围在沿基座厚度方向延伸的支撑结构所形成的空腔高度范围内，从而达到减少扬声器在工作过程中的空气泄露、提高声压级的目的。在具有隐藏式连接结构的活塞式扬声器基础上，通过进一步优化所述扬声器的振膜结构、支撑结构，从而控制扬声器工作过程中的空气泄露现象，进一步增大前后腔的声阻和扬声器输出声压级。
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公开(公告)号：CN112645274A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011467858.0
申请日：2020-12-14
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台，包括引线电极、衬底、两种或多种材料层结构的电热驱动臂、可动结构、衬底端连接结构和可动端连接结构；所述电热驱动臂的一端通过衬底端连接结构连接到衬底，另一端通过所述可动端连接结构连接到所述可动结构；所述衬底端连接结构和/或所述可动端连接结构为柔性连接结构；所述柔性连接结构主要由有机聚合物材料构成；所述电热驱动臂中包含内置电阻；所述衬底端连接结构包含导电引线，将所述内置电阻与所述衬底上的引线电极相连；所述可动结构可以是一个微平台、一个透镜、一个反射镜面、一个框架等。本发明能够显著提高电热MEMS微动平台的抗冲击能力。
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公开(公告)号：CN119971435A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510286050.9
申请日：2025-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及医疗辅助仪器技术领域，公开一种呼吸强度指示装置及呼吸训练器，包括主通道、旁通道、气阻结构以及传感器，所述旁通道与所述主通道并列设置，所述旁通道的进口和出口分别连通所述主通道；所述气阻结构设置在所述主通道内，且位于所述旁通道对应的范围内，所述气阻结构用于将所述主通道的部分气流进入所述旁通道；所述传感器设置在所述旁通道内，用于监测气流的流量和/或压力。本发明将传感器设置在旁通道上，通过监测旁通道的流量和/或压力来判断主通道的流量和/或压力，降低直接将传感器设置在主通道内因灰尘、水汽造成的影响，能够实时、准确地监测患者在呼吸训练过程中的呼吸强度，为训练者提供详细的训练数据反馈。
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公开(公告)号：CN119493233A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411765176.6
申请日：2024-12-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B7/182 , G02B26/08 , F16F15/06 , F16F15/073
Abstract: 本发明公开了一种抗冲击快反镜及其制造方法，涉及快反镜技术领域，抗冲击快反镜包括：镜面结构和衬底，所述镜面结构位于所述衬底的上方，所述镜面结构上还设置有上驱动电极结构和反射层，所述衬底上设置有下驱动电极结构，所述上驱动电极结构和所述下驱动电极结构之间存在间隙，且所述下驱动电极结构与所述镜面结构之间设置有缓冲结构。本发明的抗冲击快反镜及其制造方法能够提高抗冲击能力，以确保在各种恶劣环境下依然能够高效工作。
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