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公开(公告)号：CN104949668A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510346229.5
申请日：2015-06-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺，该气流陀螺包括敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，敏感元件包括PMMA盖板、硅板和PMMA底座；其中，PMMA盖板上设置有气流回路；硅板上设置有三自由度敏感热线；PMMA底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PMMA盖板、硅板和PMMA底座依次连接构成敏感元件。本申请的气流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，陀螺灵敏度较大；实现了三个方向较高灵敏度的角速度测量；敏感三个方向角速度的循环气流敏感体由一个压电陶瓷振子驱动，结构简单，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN104457727A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310413653.8
申请日：2013-09-12
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/58
Abstract: 本发明微机械压电射流陀螺，属于通过微机械加工工艺制作的由压电泵产生射流的陀螺仪。用于机器人、头盔、摄像机等微型载体的稳定系统。本发明由敏感元件、底座、外壳、信号处理电路、绝缘子、垫片组成，电源和信号经底座上玻璃灌装的绝缘子接线引出。敏感元件包括压电陶瓷微泵、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，它是由上下两个硅板键合而成，在上硅板上有振膜、泵室、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，下硅板具有与上硅板对称的结构，但没有Pt薄膜热敏电阻，在下硅板的表面被电极，并与上硅板键合构成密闭的射流腔体。信号处理电路包括压电泵驱动电路、电桥电路、放大电路、滤波电路和补偿电路。
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公开(公告)号：CN102288775B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110186345.7
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P3/28
Abstract: 一种气流式角速度传感器包括测试腔体，设置在所述测试腔体中心位置的敏感元件，对称设置在测试腔体两端的两个压电泵，与测试腔体和压电泵相连通的气体循环通道和信号处理电路；测试腔体为沿轴向中心、径向中心均对称的腔体，在测试腔体的两端位置设置有进气口；两个压电泵与测试腔体的两端具有一定距离，传感器内的气体可在由测试腔体，气体循环通道和压电泵组成的密闭空间内循环，敏感元件为四周设置有四组热敏电阻丝的板状框架结构，每组电阻丝所在直线与敏感元件的中心位置的垂直距离相同，相对的两组热敏丝相互平行，相邻的两组热敏丝之间相互垂直，敏感元件的中心与所述进气口的中心均位于测试腔体的中心线上。
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公开(公告)号：CN214621216U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202121104363.1
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种四电桥十字流式微机械z轴薄膜陀螺，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，所述敏感层的上表面设置有呈正方形型结构的四个加热器、八个热敏电阻、八个平衡电阻和四个隔离电阻；加热器的通电方式为周期式方波驱动；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型陀螺的输出由四个电桥不平衡电压取平均后输出，误差小，精度最高；采用半桥，平衡电阻的阻值是热敏电阻的数百倍，有利于电压信号进一步放大时的阻抗匹配，防止干扰，抗干扰性强。
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公开(公告)号：CN212082382U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188094.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“一”字型推挽流微机械单轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元；两对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“一”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现平面Z轴角速度的测量，具有很高的集成度；且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN214621217U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202121104379.2
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种半桥式推挽流z轴薄膜陀螺，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有一对加热器、一对热敏电阻、一对平衡电阻和一根隔离电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型由于其采用半桥式的推挽流，较其他工作原理的微型惯性传感器，其特点是灵敏度是单一工作臂的2倍，本实用新型采用推挽式热流，响应速度快，稳定性好；采用半桥，平衡电阻的阻值是热敏电阻的数百倍，有利于电压信号进一步放大时的阻抗匹配，防止干扰，抗干扰性强。
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公开(公告)号：CN212082383U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188101.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209055107U
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201822048889.7
申请日：2018-12-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 本实用新型涉及水平姿态传感器领域，尤其是涉及一种使用石英力敏谐振器作敏感元件的水平姿态传感器。该水平姿态传感器包括：敏感元件、电路板、敏感质量块、底座、托盘、过载防护架、基座以及外壳；其中，所述敏感元件由两片六电极石英敏感元件构成，两片所述六电极石英敏感元件前后平行设置，二者的底部均与所述底座固定连接，顶部均与所述敏感质量块固定连接。本实用新型对应的六电极石英力敏元件，每个力敏元件经组合可得到15个差频信号，将此15个差频信号进行叠加求和，得到的力频转换系数可达n×103Hz/N的量级。
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公开(公告)号：CN208907900U
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201821769445.6
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN222598994U
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202421780040.8
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本实用新型采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。
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