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公开(公告)号：CN111595324A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584723.6
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN105043372A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510364057.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种微型三自由度开放式气流陀螺，包括三自由度开放式角速度敏感元件和与其实现电气连接的PCB电路板，该三自由度开放式角速度敏感元件包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的敏感元件结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，下硅板上的三对平行热线分别作为PCB电路板的三个惠斯登电桥的两个臂。本发明能够提高气流陀螺的灵敏度，并大幅减小体积和功耗。
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公开(公告)号：CN111595318B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010584358.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN110441550B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910841272.7
申请日：2019-09-06
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本发明采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111595316B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010584318.4
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595322A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584698.1
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“十”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和六对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器、一对热敏电阻和一个X/Y方向的热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度。
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公开(公告)号：CN111595317A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584324.X
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“一”字型推挽流微机械单轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元；两对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“一”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现平面Z轴角速度的测量，具有很高的集成度；且体积小、功耗低、成本低。
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公开(公告)号：CN111595314A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584315.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源对流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两根加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元；两个测量单元中间设有正方形的隔离电阻；两根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，可实现平面Z轴角速度的测量，具有很高的集成度。而且敏感层的下表面刻蚀出“十”字形凹槽，散热性好。基于这些优点它可以广泛应用于平台稳定系统,如照相机、摄像机等电子产品的稳定系统,所以其市场前景十分光明。
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公开(公告)号：CN106989741B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201710159244.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺，该射流陀螺包括四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中敏感元件包括压环、压电陶瓷圆振子、PMMA板、硅板；压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA板上，并用压环固定它的边缘；PMMA板设置有气流通道；硅板上设置有气流通道和热线；PMMA板、硅板依次粘接构成所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件。本申请提出了一种只用四根热线就能敏感三个正交轴—X、Y和Z轴角速度的新的三轴敏感原理，敏感元件结构只有两层，因此这种射流陀螺热线少，结构简单，成品率高，功耗低，能敏感三个正交方向(X、Y、Z)角速度，多轴一体，而且三个方向灵敏度为同一数量级，实用化强。
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公开(公告)号：CN106352863B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201510419856.7
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式Z轴气流角速度传感器，由开放式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式Z轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，出口敏感室中下硅板表面设置一对长的平行热线分别作为PCB电路板中惠斯登电桥的两个臂。本发明出口敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强。
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