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公开(公告)号：CN114448387A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111626688.0
申请日：2021-12-28
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H03H11/28
摘要： 本申请提出一种阻抗匹配的调节的方法及阻抗匹配电路，该方法包括：获取阻抗匹配电路的负载阻抗和源阻抗；根据负载阻抗计算得到输入阻抗；若输入阻抗的电阻值与源阻抗的电阻值的第一差值的绝对值超过第一预设值，和/或，输入阻抗的电抗值与源阻抗的电抗值的第二差值的绝对值超过第二预设值，则输出调节信号以调节阻抗匹配电路中电容和电感接入的数量，使第一差值的绝对值不超过第一预设值且第二差值的绝对值不超过第二预设值。本申请通过计算得到需要接入的电容和电感的数量，并据此来改变阻抗匹配网络中实际电感和电容的接入进而实现阻抗匹配，通过改变电容和电感的接入数量快速精确地实现了电容和电感的可变以及解决了阻抗匹配问题。
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公开(公告)号：CN110473764B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201910843137.6
申请日：2019-09-06
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/248
摘要： 本发明公开了一种基于射频电源的阻抗调节方法，利用射频电源的频率对匹配箱中的匹配网络的阻抗影响，具体地，射频电源的频率发生改变时，匹配网络中的电容和电感的阻抗也会发生变化，从而实现对匹配箱的阻抗的调整。此外，调节是否成功通过驻波比来进行判断，在驻波比小于预设匹配阈值时，则说明此时等离子体腔室与匹配箱的阻抗之和与射频电源的阻抗相等。射频电源的频率调节速度快于匹配箱的机械调节速度，满足阻抗随时变化的等离体子负载，提高了阻抗匹配的速度及精度。本发明还公开了一种射频电源系统，具有与上述阻抗调节方法相同的有益效果。
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公开(公告)号：CN117294121A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311566961.4
申请日：2023-11-23
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H02M1/088 , H02M7/5381 , H02M3/155
摘要： 本发明涉及一种逆变切换电路、射频电源的E类定频功放并联驱动系统，属于射频技术领域，解决了推挽式逆变器容易造成管击穿等问题。在该电路中，第一、第二方波直流源分别输入到变压器的初级线圈的异名端、同名端；第一、第二方波直流源交替为高电平；变压器的第一、第二次级线圈的同名端分别连接第一嵌位防逆流模块、第二嵌位防逆流模块的输入端，第一嵌位防逆流模块、第二嵌位防逆流模块的输出端分别连接第一开关管、第二开关管的栅极；第一开关管、第二开关管的漏极相接作为所述逆变切换电路的切换信号输出端；第一、第二次级线圈的异名端接地；第一嵌位防逆流模块、第二嵌位防逆流模块的嵌位端接地；第一开关管、第二开关管的源极接地。
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公开(公告)号：CN117240125A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311514810.4
申请日：2023-11-15
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H02M7/5387 , H02M1/088 , H02M1/38 , H02M5/458 , G05B11/42
摘要： 本发明涉及一种电源功率控制电路、控制方法、射频电源及电源系统；属于射频电源技术领域，解决电源功率控制问题，控制电路包括PID模块、第一段信号控制模块和第二段信号控制模块；其中，PID模块，根据采集的电源输出电流和电压参数，进行PID控制输出控制参数到信号产生模块；第一段信号控制模块，根据PID模块输出的控制参数产生两个相同频率、相位相同或相异的驱动信号输出到第二段信号控制模块；第二段信号控制模块，用于将第一段信号控制模块输出的两个驱动信号分别进行控制得到开关控制量，输出到电源的全桥电路；通过控制开关管的导通和关闭对电源的功率进行控制。本发明实现电源功率控制的同时使输出频率、相位受控。
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公开(公告)号：CN117236262A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311518834.7
申请日：2023-11-15
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： G06F30/367
摘要： 本申请公开了一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统，本发明的分析方法通过采集与信号同相调整的方式，获取与实际输出电压或电流信号同相的缩小信号，并通过信号同步变化的结果，得到一个第三方参数来表达两信号之间放大系数的线性关系，不仅能够有效的获取各射频电源的放大系数，而且可以确保电压或电流的输出精度以稳定输出功率精度；同时，分析方法中点积处理的采集窗时长不限，配合相同时长的汉明窗函数，可以解决每一周期内原始波形边界的泄漏问题。
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公开(公告)号：CN117200721A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311250467.7
申请日：2023-09-22
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及电工电子技术领域，公开了一种信号放大电路及信号放大控制方法，该信号放大电路包括：射频功率放大器和校正补偿电路；射频功率放大器的第一端与输入信号连接，射频功率放大器的第二端与偏置电压连接，射频功率放大器的第三端与校正补偿电路的第一端连接；校正补偿电路的第二端与负载连接；射频功率放大器，用于利用偏置电压放大输入信号，将放大后的输入信号发送至校正补偿电路；校正补偿电路，用于校正输入信号，并将校正后的输入信号输出至负载。使用偏置电压放大输入信号，将输入的信号放大为预设的倍率。将放大后的输入信号发送至校正补偿电路，通过校正补偿电路校正输入信号然后输出至负载，从而降低了信号放大电路的功率损失。
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公开(公告)号：CN117093050A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311358177.4
申请日：2023-10-19
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明公开了一种高效率的功率输出方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：获取待输出至外接设备的点火成功信号；基于点火成功信号确定当前控制积分值；根据当前控制积分值确定当前PID功率信号；将当前PID功率信号输出至外接设备，以使外接设备基于当前PID功率信号进入PID运行模式。因此，相较于现有的功率信号输出方法，本发明可通过点火成功信号和预设积分公式直接确定当前控制积分值，从而减少PID调整过程中的PID爬升时间，进而增加PID调整过程中稳定功率信号的输出时间，因此本发明可提高功率信号输出的有效输出功率，即本发明可提高功率信号输出的有效效率。
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公开(公告)号：CN117060728A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311059178.9
申请日：2023-08-21
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种多级并联DC‑DC变换电路、系统及方法，属于变压器技术领域。本发明通过在电路中并联设置第一至第三储能单元以及第一至第三开关器件，第一储能单元分别与第一开关器件、第二储能单元、电源以及负载电路连接，第二储能单元分别与第二开关器件、第三储能单元、电源以及负载电路连接，第三储能单元分别与第三开关器件、电源以及负载电路连接，第一至第三开关器件分别与电源以及负载电路连接；各储能单元用于在各自对应的开关器件导通时，接收电源输出的电源电压进行能量存储，在各自对应的开关器件截止时，将存储的能量输出至负载电路，通过控制开关器件的占空比控制电路工作模态，在相同的占空比下有效提高电压增益。
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公开(公告)号：CN116827140A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202311105773.1
申请日：2023-08-30
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明提供一种软开关谐振变换器，包括第一开关模块、第一谐振模块和输出模块；第一谐振模块包括第一谐振电容、第一耦合电感、第一谐振二极管和第一谐振开关管；第一耦合电感包括第一初级绕组和第一次级绕组；第一谐振模电容的第一端与第一初级绕组的第一端连接，第一初级绕组的第二端与第一谐振开关管的第二端连接，第一谐振开关管的第一端与第一谐振电容的第二端、第二开关管的第二端连接；第二次级绕组的第一端与第一谐振二极管的阳极连接；电源对第一谐振模块充电，第一谐振模块对输出模块充电。本发明提供的变换器中，第一谐振模块参与储能与放能，提高了变换器的功率密度，使变换器具有高电压输出能力。
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公开(公告)号：CN116707317A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310984559.1
申请日：2023-08-07
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明公开一种双有源桥变换电路，包括：变压器；一次侧电路，一次侧电路的输入端用于接入外部电源电压，一次侧电路的输出端与变压器的输入端连接，一次侧电路用于接收外部控制设备输出的控制信号，并根据控制信号周期性地进行储能、退磁储能及放能，以将外部电源电压转化后输出至变压器；变压器用于对一次侧电路输出的电压进行变压转换后输出；二次侧电路，二次侧电路的输入端与变压器的输出端连接，二次侧电路用于接收外部控制设备输出的控制信号，并根据控制信号周期性地进行放能及储能，以将变压器输出的电压转换后输出至外部用电设备。本发明旨在提升电路的电压变换范围，并提高输出电压的稳定性。
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