本发明涉及一种电源功率控制电路、控制方法、射频电源及电源系统；属于射频电源技术领域，解决电源功率控制问题，控制电路包括PID模块、第一段信号控制模块和第二段信号控制模块；其中，PID模块，根据采集的电源输出电流和电压参数，进行PID控制输出控制参数到信号产生模块；第一段信号控制模块，根据PID模块输出的控制参数产生两个相同频率、相位相同或相异的驱动信号输出到第二段信号控制模块；第二段信号控制模块，用于将第一段信号控制模块输出的两个驱动信号分别进行控制得到开关控制量，输出到电源的全桥电路；通过控制开关管的导通和关闭对电源的功率进行控制。本发明实现电源功率控制的同时使输出频率、相位受控。