阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法

    公开(公告)号:CN109952459A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201780069196.1

    申请日:2017-11-02

    Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有:阀体(10),其划分出流路(12);阀芯(20),其被设为能够开闭阀体的流路(12);操作构件(40),其用于操作阀芯,被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动;主致动器(60),其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动;以及压电致动器(100),其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

    浓度检测方法以及压力式流量控制装置

    公开(公告)号:CN109791099A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780032276.X

    申请日:2017-09-27

    CPC classification number: G01N9/26

    Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法,为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法,包含:在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中,在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序;通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序;以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。

    接头
    73.
    发明授权
    接头 失效

    公开(公告)号:CN105570576B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201510702996.5

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 接头部件(2、3)由内周形成为通路的圆筒状套管(11)和作为与其分开的另外部件的法兰(12)构成。在设置在法兰(12)中央部的贯通孔(12a)中插入套管(11)的一端部。在法兰(12)上设置有从法兰(12)的侧面通向贯通孔(12a)外周的切口(17)。

    管箍用保护件
    74.
    外观设计

    公开(公告)号:CN303684993S

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201530486223.9

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:管箍用保护件。2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于管箍用保护件。3.本外观设计产品的设计要点:产品的形状。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:主视图。5.本物品是一种管箍用保护件,如使用状态参考图所示,相对于插入于袋状的螺母2的贯通穴并焊接于例如流体操作作动器用主体4的管箍套筒3,例如将管箍用保护件1沿着如图中箭头所示的方向插入而使用,用于抑制螺母2朝管箍套筒3的轴方向移动,同时使管箍套筒3的密封部不从螺母2向外侧突出而保护密封部。6.左视图与右视图相同,故省略右视图;后视图与主视图相同,故省略后视图。

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