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公开(公告)号:CN102482760B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201080040615.7
申请日:2010-09-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L51/0011
Abstract: 使用掩模单元(80),该掩模单元(80)具备阴影掩模(81)和蒸镀源(85),且将阴影掩模(81)和蒸镀源(85)的相对位置固定,该阴影掩模(81)具有开口部(82),且面积小于被成膜基板(200)的蒸镀区域(210),该蒸镀源(85)具有射出蒸镀颗粒的射出口(86),该射出口(86)与阴影掩模(81)相对配置,进行阴影掩模(81)和被成膜基板(200)之间的空隙量的调整,将掩模单元(80)和被成膜基板(200)之间的空隙量保持一定,使掩模单元(80)和被成膜基板(200)中的至少一方相对移动,将蒸镀颗粒经由阴影掩模(81)的开口部(82)在蒸镀区域(210)上顺次蒸镀。由此,能够在大型的基板上形成高精细的蒸镀图案。
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公开(公告)号:CN103476962A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201280015939.4
申请日:2012-03-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , B65D85/70 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01L51/001
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置包括:喷嘴部(110),其具有将气态的蒸镀颗粒向外部射出的射出口(111);加热板单元(100),其内置于上述喷嘴部(110),具有通过使蒸镀颗粒附着而在表面保持蒸镀材料的多个加热板(101);和加热装置(160),其将保持在上述加热板(101)的表面的蒸镀材料加热至使该蒸镀材料成为气态的温度以上的温度。
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公开(公告)号:CN103380227A
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN201280009041.6
申请日:2012-03-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置(501)具备喷嘴部(170),该喷嘴部(170)与对蒸镀材料(114)、(124)进行加热而产生气体状的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部(110)、(120)连接,并具有将在上述蒸镀颗粒产生部(110)、(120)产生的蒸镀颗粒射出到外部的射出(171)。上述蒸镀颗粒产生部(120)的蒸镀材料容纳量,比上述蒸镀颗粒产生部(110)的蒸镀材料容纳量小。
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公开(公告)号:CN103329625A
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201280005768.7
申请日:2012-01-31
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L27/3258 , H01L51/5271 , H01L51/56 , H01L2251/5323
Abstract: 在有机EL显示装置(100)中,绝缘层(113)包括第一绝缘膜(113a)及其上层的第二绝缘膜(113b),上部电极(115c)以覆盖多个有机EL层(115b)中的各个有机EL层(115b)的方式设置有多个,在第一绝缘膜(113a)与第二绝缘膜(113b)之间,与发光区域以外的区域N对应地形成有反射膜(114),该反射膜使有机EL层(115b)发出的光中扩散到发光区域以外的区域N的光,透过分隔壁部(116)和密封基板(120)内,向密封基板侧反射,以便能够作为密封基板(120)侧的显示被视认。
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公开(公告)号:CN103283306A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201180062835.4
申请日:2011-12-20
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , C23C14/042 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L33/005 , H01L51/0011 , H01L51/524 , H01L51/56 , H01L2251/566 , H05B33/04 , H05B33/10
Abstract: 在基板(3)中的形成蒸镀膜的面,以在包含显示区域(R1)的、密封树脂(11)呈框状形成的密封区域内具有开口部的方式形成光致抗蚀剂(13),接着形成具有条状的图案的发光层(8R、8G、8B),接着以剥离液除去光致抗蚀剂(13),从而形成被高精细地图案形成的发光层(8R、8G、8B)。
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公开(公告)号:CN103282538A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201280004516.2
申请日:2012-01-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0008 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 从第一和第二蒸镀源开口(61a、61b)放出的第一和第二蒸镀颗粒(91a、91b)通过限制板单元(80)的第一和第二限制开口(82a、82b),并通过蒸镀掩模(70)的掩模开口(71),附着在基板(10)上形成覆膜。限制板单元限制朝向基板行进的第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒在第一方向(10a)上的指向性,使得将假定没有蒸镀掩模的情况下第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒附着的基板上的区域分别设为第一区域(92a)和第二区域(92b)时,第二区域被包括在第一区域中。由此,能够利用分涂蒸镀形成使用掺杂法得到的发光层。
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公开(公告)号:CN103270189A
公开(公告)日:2013-08-28
申请号:CN201180061824.4
申请日:2011-12-19
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/45578 , C23C14/24 , C23C14/243 , H01L21/02263 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 本发明的蒸镀装置(50)是对被成膜基板(60)进行成膜的蒸镀装置,其具备:具有射出蒸镀颗粒的射出口(81)的蒸镀源(80);向蒸镀源(80)供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚(82);通过使蒸镀源(80)旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机(86)。
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公开(公告)号:CN103237916A
公开(公告)日:2013-08-07
申请号:CN201180057574.7
申请日:2011-11-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L31/18 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/542 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 防镀板(3)和挡板(4)的至少一部分由多个小片(3a、3b、4a、4b)连结而成,在各个小片(3a、3b、4a、4b)设置有能够将小片彼此连结和解除连结的连结部。
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公开(公告)号:CN103124803A
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN201180046519.8
申请日:2011-09-15
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L33/44 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0008 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动,一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板,形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移动方向正交的方向为第一方向、基板的法线方向为第二方向时,在蒸镀源开口和蒸镀掩模之间,沿第一方向配置有各自包括沿第二方向排列的多个控制板(80a、80b)的多个控制板列。由此,能够在大型的基板上形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
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公开(公告)号:CN101803463B
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN200880100525.5
申请日:2008-08-01
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3283 , H01L51/0036 , H01L51/0039 , H01L51/004 , H01L51/0059 , H01L51/0078
Abstract: 本发明提供具有降低了漏电流的发光元件的有机电致发光显示装置及其制造方法。本发明的有机电致发光显示装置为在基板上具有依次叠层有下电极、有机层、发光层和上电极的发光元件的有机电致发光显示装置,上述有机电致发光显示装置在有机层上具有堤岸。
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