基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法

    公开(公告)号:CN103411556A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310354894.X

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置设计有角谱扫描照明光路,从线阵LED发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到圆对称被测微结构样品表面;线阵LED的不同LED对应不同的角谱照明;该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使圆对称被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,避免圆对称被测微结构样品自身表面轮廓的高低起伏导致的某些区域无法照明或者发生复杂反射,提高探测信号强度,降低背景噪声,提高测量精度。

    一种静止背景中折返运动目标的离散退化图像构造方法

    公开(公告)号:CN102930565A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210359101.9

    申请日:2012-09-25

    Abstract: 一种静止背景中折返运动目标的离散退化图像构造方法属于一般的图像数据处理或产生领域中通过使用多于一幅图像的部分,尤其涉及一种离散运动模糊图像构造方法;该方法首先将目标图像的折返运动过程分为m段单向运动过程,并以目标图像边缘始终不超过静止背景图像边缘为前提,根据第i段单向运动过程目标图像运动ni个像素的距离,构造出ni个子图像figi,j(j=1,2,…,ni),并按照如下公式进行加权线性叠加:式中,wi,j为加权系数,fig为构造出的离散退化图像;采用本发明的离散退化图像构造方法,不仅运算时间短,而且退化过程直观,便于理解,无需对图像再调整,同时对应真实场景,能够模拟占据部分视场的运动目标形成的运动模糊图像,且不会出现图像两侧信息相叠加的现象。

    子图像加权叠加的整幅折返运动离散退化图像构造方法

    公开(公告)号:CN102867318A

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201210361584.6

    申请日:2012-09-25

    Abstract: 子图像加权叠加的整幅折返运动离散退化图像构造方法属于一般的图像数据处理或产生领域中通过使用多于一幅图像的部分,尤其涉及一种离散运动模糊图像构造方法;该方法首先将折返运动过程分为m段单向运动过程,第i(i=1,2,…,m)段单向运动过程中,根据分辨率为M×N的图像沿其行或列方向运动ni个像素的距离,构造出ni个子图像figi,j(j=1,2,…,ni),其中:如果图像沿行方向运动,则ni≤N;如果图像沿列方向运动,则ni≤M;再将得到的n1+n2+…+nm个子图像按照如下公式进行加权线性叠加:式中,wi,j为加权系数,fig为构造出的离散退化图像;采用本发明的离散退化图像构造方法,不仅运算时间短,而且退化过程直观,便于理解,且无需对图像再调整。

    采用线光源的光学系统横向放大率测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102620914A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210085063.2

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 采用线光源的光学系统横向放大率测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域;本方法是以线光源为目标得到线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用遗传算法计算得到光学系统横向放大率;本装置在该装置光轴方向与图像传感器行或列方向所确定的平面内,线光源呈弯曲状,且所述的线光源上任意位置都准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量光学系统横向放大率,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    采用匀速动点目标的光学系统横向放大率测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102620913A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210085052.4

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 采用匀速动点目标的光学系统横向放大率测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域;本方法在点目标匀速运动状态下对其成像,得到线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用遗传算法计算得到光学系统横向放大率;本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上,控制器控制滑块在第一导轨上匀速运动时,控制器控制滑块在第二导轨上运动,且两个方向的运动相配合,使点目标在运动过程中始终准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量光学系统横向放大率,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    采用点目标像拼合的光学系统横向放大率测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102620911A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210085018.7

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 采用点目标像拼合的光学系统横向放大率测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域;本方法使点目标处于不同视场下并对其两次成像,根据两幅点目标像构造出线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用遗传算法计算得到光学系统横向放大率;本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上,滑块在第一导轨上的运动与滑块在第二导轨上的运动相配合,使点目标在任意视场位置都准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量光学系统横向放大率,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    基于线光源的图像传感器像素间距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102620670A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210085019.1

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 基于线光源的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域中用于计量长度、宽度或厚度的领域;本方法是以线光源为目标得到线状图像,在频域中利用实际测量得到的调制传递函数值第一次达到极小值时所对应的频率与理论截止频率相等,计算得到图像传感器的像素间距;本装置在该装置光轴方向与图像传感器行或列方向所确定的平面内,线光源呈弯曲状,且所述的线光源上任意位置都准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量图像传感器像素间距,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    利用点目标像拼合的图像传感器像素间距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102620667A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210084539.0

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 利用点目标像拼合的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域中用于计量长度、宽度或厚度的领域;本方法使点目标处于不同视场下并对其两次成像,根据两幅点目标像构造出线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用搜索算法计算得到像素间距;本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上,滑块在第一导轨上的运动与滑块在第二导轨上的运动相配合,使点目标在任意视场位置都准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量图像传感器像素间距,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    利用匀速动点目标的光学系统横向放大率测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102607816A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210085051.X

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 利用匀速动点目标的光学系统横向放大率测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域;本方法在点目标匀速运动状态下对其成像,得到线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用搜索算法计算得到光学系统横向放大率;本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上,控制器控制滑块在第一导轨上匀速运动时,控制器控制滑块在第二导轨上运动,且两个方向的运动相配合,使点目标在运动过程中始终准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量光学系统横向放大率,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

    利用匀速动点目标的图像传感器像素间距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102607441A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210084540.3

    申请日:2012-03-17

    Abstract: 利用匀速动点目标的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征用于计量长度、宽度或厚度的领域;本方法在点目标匀速运动状态下对其成像,得到线状图像,在频域中寻找像素间距的取值范围,并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好,利用搜索算法计算得到像素间距;本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上,控制器控制滑块在第一导轨上匀速运动时,控制器控制滑块在第二导轨上运动,且两个方向的运动相配合,使点目标在运动过程中始终准焦成像到图像传感器表面;采用本发明测量图像传感器像素间距,有利于减小单次测量结果之间的误差,进而提高测量结果重复性。

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