高光电变换效率太阳能电池的制造方法及高光电变换效率太阳能电池

    公开(公告)号:CN109844961A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201680090007.4

    申请日:2016-10-14

    Abstract: 本发明是一种太阳能电池的制造方法,具有:准备至少在第一主表面具有介电体膜的半导体基板的步骤、部分地去除该半导体基板的介电体膜的步骤、沿着介电体膜部分地被去除的领域形成电极的步骤的太阳能电池的制造方法,其特征是具有对于实施部分地去除介电体膜的步骤与形成电极的步骤之后的半导体基板,测定介电体膜部分地被去除的领域的位置与形成的电极的位置的相对的位置关系的步骤,基于被测定的位置关系,对于新准备的至少在第一主表面具有介电体膜的半导体基板,在调整部分地去除介电体膜的领域的位置后部分地去除介电体膜。由此,提供一种可以减低部分地去除介电体膜的领域与沿着该领域被形成的电极的位置偏移,且使太阳能电池的制造产出率提升的太阳能电池的制造方法。

    热处理炉
    79.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103038865A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201180035789.9

    申请日:2011-06-03

    CPC classification number: H01L21/324 H01L21/22 H01L21/67109 H01L21/67754

    Abstract: 这里公开的热处理炉,用于半导体基片的热处理步骤中,其特征在于提供了柱形芯管,该柱形芯管的两端部有开口,该开口的尺寸设置成允许半导体基片插入芯管和从芯管中取出。这在连续的半导体热处理过程中减少了在批次之间的等待时间,从而提高生产率。而且,使用芯管结构的简单柱形降低了气体引入管部分失效的频率,从而降低了热处理方法的运行成本。

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